集成电路生产设备及配件的研发制造并提供安装及维修服务项目.docVIP

1、前言 无锡克林富乐半导体设备有限公司现因业务发展需要，公司投资210万元，新建集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目。项目占地面积160平方米。目前集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目已经投产。 根据国家环保局第13号令《建设项目竣工环境保护验收管理办法》等有关文件的要求，受无锡克林富乐半导体设备有限公司委托，无锡市新环化工环境监测站于2016年11月24日～2016年11月 25日对该项目中废水、噪声、固体废弃物等污染物排放现状和各类环保治理设施的处理能力等进行了现场监测，根据监测结果及现场检查情况，编制了本竣工验收监测报告，为该项目的竣工验收及环境管理提供科学的依据。 2．验收监测依据 2．1《建设项目竣工环境保护验收管理办法》（国家环保总局第13号令，2001年12月）； 2．2《关于建设项目环境保护设施竣工验收监测管理有关问题的通知》（国家环保局发（2000）38号）； 2．3《江苏省排污口设置及规范化整治管理办法》（江苏省环境保护局，苏环控(97)122号； 2．4 《江苏省排放污染物总量控制暂行规定》（江苏省政府[1993]第38号令） ； 2．5 《关于对集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目建设项目环境影响申报（登记）表》的审批意见（无锡市新区建设环保局2009年2月28日）； 2．6 《无锡克林富乐半导体设备有限公司集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目验收监测方案》（无锡市新环化工环境监测站，2016年11月5日） 3．建设项目工程概况 3.1工程基本情况 该项目位于无锡新吴区新泰路8号。占地面积160m2，具体地理位置见附图，公司平面布置见附图，本验收项目具体工程建设情况见表3-1，建设内容见表3-2，主要原辅材料消耗表见表3-3 表3-1建设情况表 序号 项目 执行情况 1 立项 —— 2 环评 2009年2月11日完成环评 3 环评批复 2009年2月28日由无锡市新区建设环保局批复 4 初步设计 集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目 5 本次验收项目建设规模 集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务项目 6 本项目开工建设时间及竣工时间 项目于2009年3月1日开工 7 试生产批准及试生产时间 8 现场踏勘时工程实际建设情况 环保设施与主体工程同时建设并投入运行，达到设计生产能力的75%以上。 表3-2建设项目内容表 序号 类型 环评/初级审批项目内容 实际建设情况 1 建设规模 集成电路生产设备及配件3160台、CMP半导体研磨机及零配件150台、Gastem及零配件3000台 集成电路生产设备及配件3160台、CMP半导体研磨机及零配件150台、Gastem及零配件3000台 2 产品名称 集成电路生产设备及配件、CMP半导体研磨机及零配件、Gastem及零配件 集成电路生产设备及配件、CMP半导体研磨机及零配件、Gastem及零配件 表项目主要原辅材料 名称量 不锈钢钢管 300个 调压阀 100个 球阀 100个 PVD塑料 100个 表主要设表 名称 规格（型号） 数量（单位） 1 自动焊机（氩弧） M100 2台 2 手动焊机（氩弧） 2000 2台 3.2 生产工艺简介 3.2.1 Gas Cabinet气柜生产工艺流程 图1 Gas Cabinet气柜生产工艺流程图 3.2.2 CMP半导体研磨机及零配件生产工艺流程 图2 CMP半导体研磨机及零配件生产工艺流程图 3.2.3 Gas system及零配件生产工艺流程 图3 Gas system及零配件生产工艺流程图 3.3.2无锡市新区建设环保局审批意见 该报批项目位于无锡高新区（锡政发【2002】36号），该区域已编制了环境影响评价和环境保护规划，具备污染集中控制条件。（该项目租用江苏矽太信息科技有限公司厂房160平方米）原项目编号“2009059”， “年产20台半导体设备及零配件搬迁项目”作废，以此项目为准。该项目集成电路生产设备及配件的研发制造，并提供安装及维修服务。 根据新区经济发展局出具的外商投资项目核准咨询联系单（编号：锡新经变更【2009】10号），从环境保护角度分析，同意该项目建设并落实： 1、仅限于本表申报内容及生产工艺、设备、规模及原辅材料、地点。 2、生活污水经化粪池预处理后，达《污水综合排放标准》（GB8978-1996） 表4中的三级标准，排入园区内污水管网，送污水处理厂集中处理。 3、合理布局设备，采取有效的防噪隔声措施，确保厂界噪声达到《工业企业厂界噪声标准》（GB12348-2008）3类