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- 2018-07-01 发布于河南
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第3章_6_制版工艺
3.6 制版工艺 1、集成电路生产中光刻版的质量要求 保证器件特性，图形正确，无畸变，各掩膜层之间能互相套准。 2、制版工艺流程 1.版图总图绘制 2.刻分层图 3.初缩 4.精缩及分布重复 5.复印 3、计算机辅助制版 (1).版图数据处理技术 (2)将计算机设计好的版图送入计算机 (3).图形发生器子系数 4、光刻掩膜版的检查 （1）尺寸测量 （2）套刻精度测量 （3）缺陷检查 * *
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