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- 2018-06-21 发布于江西
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[物理]在立式接触式干涉比较仪上检定二等量块.doc
四川省质量技术监督学校
毕业(设计)论文
题目:在立式接触式干涉比较仪上检定二等量块
指 导 教 师:
学 生:
专 业:
班 级:
目录
一:立式接触式干涉仪相关知识
仪器主要技术指标;
仪器结构;
仪器的光学系统和工作原理;
仪器干涉条纹的寻找和调整方法及定度方法;
仪器精度分析。
二:量块基本知识
量块用途及构造;
量快中心长度和长度变动量的定义;
量快定等、定级的依据;
等和级之间的关系。
三:立式接触式干涉仪检定二等凉相关知识
检定条件要求
用立式接触式干涉仪上检定量块中心长度和长度变动量的方法和数据出方法;
如何对检定结果进行处理;
误差分析。
一:立式接触式干涉仪
仪器主要技术指标
立式接触式干涉仪是当前检定2、3等量块时用的广泛
的一种仪器,也可以对150mm以下的其他高精度零件作相对的测量。仪器经过调整,可以有0.2、0.1、0.05um 三种分度值。
仪器的结构
仪器的外型结构。如图1-101所示,它是由干涉仪光
管、支架及可换的测量工作台所组成。干涉仪光管是由干涉管20、干涉箱17和观察镜管16等组成的“T”型部件,它是仪器的核心部分。在干涉管端部的测杆上可以装上冒21及测杆提升器8,通过观察目镜15右边的小手论14转动,可带动刻度尺做横向移动。搬手3可以使观察目镜绕一轴线摆
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