电子显微能谱测试分析技术.ppt

　电子显微镜　能谱测试分析技术 前　言 电子显微镜属于一种大型分析仪器，从1965年问世以来，已在材料科学、地质、生物、医学、物理、化学等科学领域获得越来越广泛的应用。而且为适应不同的分析要求，相继安装了许多专用附件，实现了一机多用（如透射电镜、配置扫描模式及能谱仪附件）。 电子显微镜特点： 1、能够观察物质的微形貌、微结构、以及微小颗粒形状及粒度大小的测定。并且与能谱分析方法结合起来能够快速进行微区定性定量分析。 2、具有分辩本领高和放大倍数大。观察图象景深大，富有立体感。 3、是以电子束代替光束轰击样品产生的各种信息在荧光屏上成象的。 4、透射电镜（TEM）是通过电子束来轰击样品（厚度＜1000?），利用从样品透过的电子束，用电磁透镜来聚焦，放大成象的，它的点分辩率为2.0A，线分辩率1.4A，放大倍数5000—80万倍。 5、扫描电镜（SEM）是通过电子束轰击（扫描）样品，利用探测器从样品上获得的反射出来的电子信息成象的，它的分辩率为1n-2.2n左右。放大倍数是25_40万。 6、光学显微镜的分辩率为0.15μm左右，放大倍数1000倍，并且是可见光照明，用玻璃透镜来聚焦、放大成象的。电子显微镜是用电子束照明，用电磁透镜来聚焦放大成象的。 一 电子显微镜结构的基本原理 透射电镜基本原理 透射电镜主要结构分为：