铁电薄膜的制备、表征及应用.docVIP

铁电薄膜的制备、表征及应用 一、实验目的 铁电薄膜的溶胶凝胶制备法作为一门综合性课程，实验过程中，利用化学、物理知识，通过对铁电薄膜制备方法的设计，了解制备方法的原理；以及通过铁电薄膜的表征，了解铁电薄膜的测试与分析，使学生在铁电薄膜制备与表征的基本技能方面得到训练，进一步了解铁电薄膜的制备方法原理和工艺，表征技术的原理和测试分析方法，巩固和深化学生课堂上学到的知识。 本课程实验部分的主要任务是使学生获得有关铁电薄膜备及表征技术有关实验原理的知识和技能，掌握铁电薄膜的制备参数与材料组分、性能之间的关系和规律，加强学生合理选用制备方法、正确选定制备工艺参数、分析测试结果等方面的能力。 二、实验原理及方法 溶胶-凝胶法(Sol-gel)作为CSD法的一种，属于化学溶液沉积法。Sol-gel的前驱体是金属有机化合物，有的时候也用无机盐作为前驱体，将前驱体按照一定的比例在有机的溶液中溶解，经过水解缩聚反应，最后生成三维网络状胶体。按照匀胶、蒸发分解（除去凝胶中的有机成分和水分）、退火处理的步骤，最后得到晶态薄膜。一般情况，Sol-gel法的常用到的原料有金属化合物、溶剂（甲醇、乙醇、冰醋酸等）、水、催化剂（酸或弱碱）以及其他添加剂。其中金属元素的起始原料一般都是易于水解的金属化合物，比如氯化物、硝酸盐、金属醇盐、乙酰丙酮和醋酸盐等等，这些化合物水解生成了氧化物、氢氧化物或者是聚合物，这些物质很容易发生反应，水解过程中的只有醇类物质容易挥发，但是对人体无害，因此这类物质已被广泛的用于Sol-gel法中，成为Sol-gel法首选的原料。 在Sol-gel法中，不论是无机盐还是金属醇盐作为起始原料，它们的反应步骤都是：前驱物溶于水中，或者是溶于有机溶剂中，最后形成均匀溶液。溶质与溶剂发生水解或是醇解反应，反应生成物聚集成1 nm左右的粒子，并且形成溶胶，最后经蒸发干燥转变成凝胶。基本反应原理如下： (1) 溶剂化：金属阳离子M+(z为M离子的价数)吸收水分子，并形成溶剂单元，在这过程中释放H+，用来保持它的配位数： (1) 如果在上述反应中，有别的离子进入，就有可能发生聚合反应，这个反应十分复杂。 (2) 水解反应：金属醇盐(n为金属M的原子价)与水发生水解反应： (2) 这个反应一直进行到生成。 (3) 缩聚反应：分为失水缩聚 (3) 与失醇缩聚： (4) 反应生成物是各种尺寸，各种结构的溶胶体粒子。.2 Sol-gel法优点 (1) Sol-gel法的制备工艺很简单，不需要昂贵的设备，便于推广，成本很低，制备的薄膜面积大； (2) 制成的薄膜组分精确，可以实现分子级别的均匀掺杂，改性方便快捷，制备的薄膜均匀性好； (3) Sol-gel法和固相法制膜以及气相法制膜相比，反应温度低，反应更容易发生， 这样低熔点氧化物不易挥发。 Sol-gel法的缺点：制备薄膜时，有机物容易挥发，容易对身体造成危害，但是在密闭的净化操作箱中进行试验，就可以有效的避免这个问题.3 Sol-gel法制备薄膜过程 浸涂(Dip-coating)和旋涂(Spin-coating)是Sol-gel法的两个主要方式。其中，ip-coating法是指一个不变的速度，垂直地将基片从盛有前驱体溶液的浸涂槽中抽出；而spin-coating法是指借助离心力与蒸发来减薄沉积膜。本篇文章采用的是pin-coating法，先前的研究把pin-coating法分成四个步骤，第一步沉积；第二步加快旋转；第三步旋离；第四步蒸发。蒸发也在前三个步骤中同时进行，在沉积阶段，把滴在基片上的液体分布均匀，在加快旋转阶段，多余的液体呈放射状流出，在旋离阶段多余液体脱离基片。在这些过程中薄膜逐渐变薄的同时阻力也随之变大，非挥发组分也随之变大，最后蒸发是薄膜减薄的主要方式。 三、实验原料及仪器 实验原料：，，单晶硅衬底 实验仪器：烧杯若干；量筒若干；电子秤；滴管；电动搅拌器；磁力搅拌器；匀胶机；坩埚；马弗炉等 四、实验内容和步骤 BTO是一种优良的铁电体，BTO的铁电性在1942被人们发现，是在罗息盐和磷酸二氢钾(KDP)被发现后的一个惊喜发现，同时也是人们发现的最早的钙钛矿结构的铁电体，他的居里温度为120。BTO在不同的温度区间中，具有不同的晶体结构在高于居里温度时，晶体呈现出立方晶胞，这时BTO属于顺电相当其温度降到居里温度以下时，BTO处于四方相温度进一步降低，降到5时，BTO变为正交相。其优良介电性和很强的铁电性常用来研究DRAM、FeRAM等，尤