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二、压电陶瓷快速反射镜经典控制方法概述1.快速反射镜简介1.1 工作原理快速控制反射镜(Fast Steering Mirror，也称为快速倾斜镜)是光电精密跟踪系统中必不可少的一部分，是采用反射镜面在光源和接收器之间精确控制光束方向的一种装置。快速反射镜是自适应光学中重要的能动光学元件，它既可以用来在自适应光学系统中校正光路中的倾斜误差，也可以用来稳定光束线的指向，同时还可以用来在光学精密仪器中作为快速跟踪的关键器件。它与大惯量机架结构的主系统共同构成复合轴跟踪系统，在各种光学系统中用于对准和稳定光束。在天文望远镜、激光通讯、图像稳定系统、自适应系统、跟踪瞄准和激光发射光学系统中广为应用。近些年国内外都在不断地研制和发展这种装置。由于具有响应速度快和控制精度高等特点，快速控制反射镜(FSM)已经成为光学系统中稳定和校正光束的关键部分，在工业设备、激光通讯、成像系统等多个领域得到了广泛应用,随着大口径望远镜技术的发展，FSM不仅应用于精密跟踪系统，而且应用于自适应光学系统以校正大气扰动引起的低频误差。控制带宽越高，对干扰的抑制能力越强，系统反应速度越快，从而可以提高系统的跟踪精度。因此，根据系统需求设计出精度高、响应频率快、稳定性好的FSM系统十分必要。快速反射镜是光学系统中对光束实现快速微小角度偏转的微位移机构。主要功能是通过反射镜镜面的快速、高频转动，实现光束的高速精确指向、稳定和跟踪。其工作原理为在驱动元件（压电器件或音圈电机等）的作用下，实现平面反射镜德小角度偏转。本质是利用电压来控制快反镜的偏转。用于精密光路调整和稳定的微定位机构可分为六大类:压电陶瓷驱动器(Piezoelectric Transition, PZT)、音圈电机(Voice Coil Actuator, VCA)、电致伸缩驱动器、磁致伸缩驱动器、形状记忆合金驱动器、静电微驱动器。快速反射镜通常采用分辨率达到纳米量级的压电陶瓷驱动器或音圈电机作为驱动装置。其惯性比传统机架小很多，可大幅度提高谐振频率，与高灵敏度、高响应速度的传感器相结合，就可以构成高精度的光学跟踪系统，大大提高系统的跟踪带宽和响应速度，同时又有极高的角度分辨能力。驱动元件的性能直接关系到FSM 的工作特性及精度。压电陶瓷体积小，结构紧凑，谐振频率较高，但行程小，所需的驱动电压高达几百伏。与之相对，音圈电机的驱动电压只有十几伏，行程较大，但音圈电机惯量大，输出力小，响应频率较低。ATP系统中的精跟踪要求光束束散角范围在两三个微弧度以内，对系统的精度要求很高，为了使快速反射镜获得较高的响应频率和工作带宽，根据压电陶瓷的特点，所以一般选用高精度的压电型陶瓷驱动器，它利用压电材料的逆压电效应制成，理论精度可达无限大。压电陶瓷驱动器是一种利用压电陶瓷的压电效应制作的微米／纳米级的超精密驱动装置。压电陶瓷驱动器的响应频率能够达到上千赫兹，可驱动负载带宽能够达到几百赫兹。压电陶瓷驱动器一般是将层叠的压电材料封装在钢管内，通过改变驱动电压，产生逆压电效应，从而使机械结构结构发生形变，产生伸缩变化。通常所说的压电效应是指正压电效应和逆压电效应，正压电效应是指由于材料发生了形变，从而引起材料产生束缚电荷的现象，其本质是晶体的机械形变作用而引起介质的极化，导致晶体内部正负电荷的中心发生了偏移，电偶极矩发生变化，因此在晶体表面出现了相反极性的束缚电荷；逆压电效应是指由于作用于晶体内部的电势发生了变化从而引起材料产生形变的现象，它是由于压电材料中的正负离子在电场库仑力的作用下，导致晶体产生内应力，通过它的作用最终使晶体产生宏观形变，在这里，正是利用了压电陶瓷的逆压电效应这一特性。因为具有高刚度、响应频率高、体积小、质量轻、电压控制和对温度变化不敏感等优点，已被广泛应用于超精密加工、振动控制、超声马达、生物医学工程、微动工作台、纳米技术等领域，但是压电陶瓷又具有迟滞性、蠕变性等缺点，在一定程度上会影响到工作平台的线性度和精度。在激光通信精跟踪系统中使用的快速反射镜选用德国PI公司的S330.2SL型号的压电陶瓷驱动器作为驱动装置，图示为实物图与装置尺寸图：图8 FSM实物图其开环行程为3.5mrad，闭环行程为2mrad，分辨率为0.02urad，空载机械谐振频率为2.6KHz，实测的带载机械谐振频率为1.3KHz，重复定位精度为0.15urad，压电陶瓷控制器的输出电压范围为-10~10V，线性对应快速反射镜的±1mrad偏转量。1.2 数学模型控制对象测试编写目的：测试被控对象的参数特性，以便于对控制对象的建模与仿真。程序功能：a）设置PXI-4461的工作模式及其他参数；b）设置被测对象的起始电压及运动后的目标电压；c）自动将电压置为起始电压，50ms后输出目标电压；d）实时显示测试对象的输入波形图表；e