激光干涉仪及球杆仪.docVIP

激光干涉仪及球杆仪 激光干涉仪的主要特点 　　1. 同时测量线性定位误差、直线度误差（双轴）、偏摆角、俯仰角和滚动角 　　2. 设计用于安装在机床主轴上的5D/6D传感器 　　3. 可选的无线遥控传感器最长的控制距离可到25米 　　4. 可测量速度、加速度、振动等参数，并评估机床动态特性 　　5. 全套系统重量仅15公斤，设计紧凑、体积小，测量机床时不需三角架 6. 集成干涉镜与激光器于一体，简化了调整步骤，减少了调整时间干涉仪的维护 　　1、仪器应妥善地放在干燥、清洁的房间内，防止振动，仪器搬动 时，应托住底座，以防导轨变形。 2、光学零件不用时，应存放在清洁的干燥盆内，以防止发霉。反光镜、分光镜一般不允许擦拭，必要擦拭时，须先用备件毛刷小心掸去灰尘，再用脱脂清洁棉花球滴上酒精和乙醚混合液轻拭。 　　3、传动部件应有良好的润滑。特别是导轨、丝杆、螺母与轴孔部分，应用T5精密仪表油润滑。 　　4、使用时，各调整部位用力要适当，不要强旋、硬扳。 　　5、导轨面丝杆应防止划伤、锈蚀，用毕后，仍保持不失油状态。 　　6、 经过精密调整的仪器部件上的螺丝，都涂有红漆，不要擅自转动激光干涉仪技术参数 　　5D/6D标准型： 　　1. 线性：0.5ppm . 　　2. 测量范围：40米（1D可选80米） 　　3. 线性分辨力：0.001um. 　　4. 偏摆角和俯仰角的精度：（1.0+0.1/m）角秒或1%显示较大值 　　5. 最大范围：800角秒 　　6. 滚动角精度：1.0角秒 　　7. 直线度精度：（1.0+0.2/m）um或1%显示较大值 　　8. 直线度最大范围：500um 　　9. 垂直度精度：1角秒 　　10. 温度精度：0.2摄氏度 　　11.湿度精度：5% 　　12.压力精度：1mmHg球杆仪是用于数控机床两轴联动精度快速检测与机床故障分析的一种工具。它由一安装在可伸缩的纤维杆内的高精度位移传感器构成，该传感器包括两个线圈和一个可移动的内杆，其工作原理类同于使用LVDT技术的位移传感器。当其长度变化时，内杆移入线圈，感应系数发生变化，检测电路将电感信号转变成分辨率为0.1μm位移信号，通过接口传入PC机。其精度经激光干涉仪检测达±0.5μm(在20)。应用范围：机床制造厂(加工中心,铣床,车床,水刀切割机,雕刻机等)学术研究单位制造厂厂内自校检校单位半导体业航空业自动化设备生产业球杆仪测量系统该项快速简单的检测，可提供出机床各种误差的数据，并对其进行自动分析，给出各种误差优化表。它包括：轮廓综合度精度垂直度误差伺服不匹配误差光栅尺、编码器误差滚珠丝杆周期误差间隙和其他换向误差爬行误差直线度误差机床振动反向跃冲测量分辨率：0.1微米测量精度：±0.5微米QC10球杆仪对机床制造厂和用户厂来说是十分重要的。对机床制造厂来讲，可以缩短新机床开发研制及制造周期，改进机床设计，简化机床出厂验收检验，方便售后维修服务等。对机床用户厂来说，方便新购机床的进厂验收，方便机床保养与维护，对机床进行定期检验，保证机床处于在最佳性能状态，科学的找出机床潜在问题，进行预防性维护，避免出现更严重的机床故障等。