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带缩口流体分离微米粒工艺研究
带缩口流体分离微米颗粒工艺研究;目录;1 研究背景;微流控分离方法;微流控分离方法;微流控分离方法;带缩口流体分离原理;课题研究意义;临界尺寸计算模型比较研究;三种计算结果比较1;三种计算结果比较2;FLUENT软件模拟分离过程;两出口芯片模拟结果;颗粒路径;带缩口流体分离装置实验;硅片带缩口流体分离装置实验结果;2个出口-缩口宽度30mm;2个出口-缩口宽度40mm;2个出口-缩口宽度45mm;13个出口-缩口宽度30mm;13个出口-缩口宽度30mm;13个出口-缩口宽度20mm;结论;展望;致谢;THANK YOU
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