人工制造的压电陶瓷锆钛酸铅.PPT

压电式声传感器 1、压阻式压力传感器的工作原理：半导体的压阻效应 固体受到作用力后，电阻率就要发生变化，这种效应称为压阻效应 。 半导体材料的压阻效应特别强。 压阻式传感器的灵敏系数大，分辨率高。频率响应高，体积小。它主要用于测量压力、加速度和载荷等参数。 因为半导体材料对温度很敏感，因此压阻式传感器的温度误差较大，必须要有温度补偿。 单元一 认识压力传感器 五、压阻式压力传感器 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 采用N型单晶硅为传感器的弹性元件， 在它上面直接蒸镀半导体电阻应变薄膜 单元一 认识压力传感器 五、压阻式压力传感器 2、扩散硅压阻式压力传感器 工作原理： 膜片两边存在压力差时，膜片产生变形，膜片上各点产生应力。 四个电阻在应力作用下，阻值发生变化，电桥失去平衡， 输出相应的电压，电压与膜片两边的压力差成正比。 设计时，适当安排电阻的位置，可以组成差动电桥。 单元一 认识压力传感器 2、 扩散型压阻式压力传感器 压阻式压力传感器结构简图 1—低压腔 2—高压腔 3—硅杯 4—引线 5—硅膜片 扩散型压阻式压力传感器特点: 优点: 体积小，结构比较简单，动态响应也好，灵敏度高，能测出十几帕的微压，长期稳定性好，滞后和蠕变小，频率响应高，便于生产，成本低。 测量准确度受到非线性和温度的影响。智能压阻式压力传感器利用微处理器对非线性和温度进行补偿。 单元一 认识压力传感器 2、 扩散型压阻式压力传感器 宁静致远 日照职业技术学院 项目二 压力传感器及其仪表的安装与调试 任务一 认识压力传感器 主要内容 单元一 认识压力传感器 单元内容 一、项目引入 二、知识讲解 1、电阻应变式压力传感器 2、电容式压力传感器 3、电感式压力传感器 4、压电式压力传感器 5、扩散硅压力传感器 三、归纳总结 四、作业 主要内容 单元一 认识压力传感器 教学目标 能力目标 知识目标 (1)掌握常用压力传感器(如电阻应变式、电感式、电容式、压电式、压阻式、差动变压器式)压力检测原理； (2)各种压力检测的方法。 (1)能识别不同种类的压力传感器； (2)能区分常见压力传感器的检测方法、信号转换、应用场合、优缺点等。 教学重点难点 重 点 难 点 (1)常用压力传感器检测压力的方法； (2)不同类型压力传感器的认识。 常见压力传感器工作原理，仪表信号采集与测量。 单元一 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 电容式压力传感器是利用电容作为敏感元件将被测压力转换成与之成一定关系的电量输出的压力传感器。它一般采用圆形金属薄膜或镀金属薄膜作为电容器的一个电极，当薄膜感受压力而变形时，薄膜与固定电极之间形成的电容量发生变化，通过测量电路即可输出与电压成一定关系的电信号。 电容式压力传感器属于极距变化型电容式传感器，如图2-9所示，是由一个固定极板和一个弹性膜片（即动极板）组成。 （一）、电容式压力传感器原理结构 P 弹性膜片(动电极) 固定电极 单元一 认识压力传感器 图2-9 单电容式压力传感器（属于变极距电容式传感器） (b) 变极距型电容式传感器 （a）变极距型电容式传感器结构原理图 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 当传感器的εr和S为常数，初始极距为d0时，可知其初始电容量C0为 若电容器极板间距离由初始值d0缩小了Δd，电容量增大了ΔC，则有 单元一 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 图2-10 电容量与极板间距离的关系 单元一 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 因Δd的极距变化很小，使Δd/d01时，则有近似的线性关系为： 电容式传感器的灵敏度为： 可见，要提高灵敏度，应减小d0。但d0过小，容易引起电容器击穿或短路。为此，常用提高介电常数的方法，即在两级板间加云母、塑料膜等介质。 单元一 认识压力传感器 二、电容式压力传感器 （一）、电容式压力传感器原理结构 1、单电容式压力传感器 在实际应用中，为提高灵敏度和线性度，克服电源电压、环境温度变化等外界条件影响，又研制出了差动式电容式压力传感器，如下图所示，上下两极板是固定极板，中间极板是活动极板，未开始测量时将活动极板调整在中间位置，两边电容相等。测量时，中间极板向上或下平移，就会引起电容量的