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基于MEMS和数字信号处理器露点传感器设计 　　摘 要 近年来，随着微电子技术的不断发展，推动了与之相关领域的发展速度。露点传感器是气象探测中最为重要的仪器设备之一，它的测量精确度高低，直接关系到气象探测结果的准确性。传统的光学露点传感器本身价格比较昂贵，并且不适用于高空探测，为此本文提出一种基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器，并对该传感器的具体设计进行论述。 　　关键词 MEMS；数字信号处理器；露点传感器 　　中图分类号：TP212 文献标识码：A 文章编号：1671-7597（2013）18-0024-01 　　1 MEMS与数字信号处理器概述 　　1.1 MEMS 　　1）MEMS的技术途径。MEMS是微电子机械系统的简称，它是20世纪80年代末在欧美一些发达国家出现的高新技术，其基础是微电子工艺，主要的技术途径有以下几种： 　　①硅基微加工技术。该技术是以美国为代表，以集成电路工艺技术作为基础的一项加工技术。 　　②LIGA技术。该技术以德国为代表，LIGA是德文中光刻、电铸及注塑的缩写，它是一种基于X射线光科技束的MEMS加工技术。 　　③精密加工技术。该技术的代表国家是日本。 　　2）MEMS的构成。MEMS是由以下三个部分组成：即微型传感器、执行器以及处理电路。通常情况下，输入信号都是先经由传感器转换成电信号，再经信号处理，最后由执行器对外部发生相应的作用。简而言之，传感器就是将被监测系统的各种参数信息，如物理量、化学量、生物量等等，根据某种特定的规律转换为便于处理且易于输出的信号，如光信号、电信号等；执行器主要负责完成各种操作；处理电路则负责对信号进行转换、放电以及计算等处理。 　　3）MEMS的特点。MEMS的特点大体上可归纳为集成化、微型化、成本低、机械性能优良等几个方面。 　　1.2 数字信号处理器 　　数字信号处理是信号处理的子集，它是一种将信号一数字方式进行表达和处理的技术，其最终目的是对真实世界中的连续模拟信号进行测量或是滤波。数字信号处理器简称DSP，是一种进行数字信号处理的专用芯片，是集多种技术于一身的新型器件，具体包括微电子技术、数字信号处理技术、计算机技术等等。目前，数字信号处??器已经被广泛应用于诸多领域，如航空航天、通信系统、信号处理、军事、雷达、医疗等等。下面本文基于MEMS和DSP对露点传感器的具体设计进行研究。 　　2 基于MEMS和数字信号处理器的露点传感器设计 　　露点传感器是一种用于气象探测的仪器，在以往的实际应用中，采用的一般都是光学露点传感器，这种传感器的优点是测量精确度较高，但是仪器本身的价格却比较昂贵，并且很难应用于高空气象探测。为此，本文提出一种新的露点传感器设计，其设计思路是基于MEMS，并以DSP为核心，下面就具体设计进行介绍。 　　2.1 露点传感器的构成及工作原理 　　本文所设计的露点传感器是由以下几个部分构成：MEMS电容传感器、DSP、ADC、制冷器、Pt电阻温度传感器等。该露点传感器的工作原理如下：一般情况下，当电容正对面积与电容版之间的距离保持不变时，电容值与环境的介电常数有关，露点传感器在正常工作状态时，在MEMS上降温，当环境温度降至露点温度时，被测环境中的空气为饱和状态，此时传感器的表面上便会出现一些非常微小的露珠，这样便会引起介电常数改变。利用电容检测电路采集MEMS的电容时，采集过程中，若是电容在某一个特定时刻得到预先设定好的平衡条件，则电阻检测电路采集到的Pt电阻值对应的温度值就是大气的露点温度。由于露点传感器常用于气象探测，故此要求传感器必须具备长期的稳定性，这也是设计中必须注意的重点问题之一。 　　2.2 主要模块设计 　　1）DSP模块。在露点传感器的应用过程中，迅速测量是对其最基本的要求，为此，处理器必须具备超快的相应速率。同时，在进行露点测量时，还需要借助PID对脉冲宽度进行调制来控制制冷器的通断。所以本文选用德州仪器所研制开发的TMS320F2812数字信号处理器，其最大的优点是处理速度快，主频的最大功率为150MHz，并且处理器采用的是低电压供电，能耗较低，以此作为露点传感器的处理器，可以较好地完成露点测量的工作要求。 　　2）温测模块。获取高精确度的测量数据是确保测量结果准确定的关键之一，想要确保测量数据的精确度，就必须采用分辨率高、噪声低、信号采集速度快的ADC进行模数转换。本设计中选用的AD7799是一款测量精度高、功耗低的ADC，其在10Hz的样本采集频率下，能够实现24位的采样精度，具有非常高的分辨率，这有助于微小变化的检测。此外，为了实现高精度的测温，本设计采用四线制将Pt电阻与AD7799进行连接，以ADC高精度的测量特性，对Pt电阻值进行检测，在将测量结果传输