激光原理、激光刻蚀设备及清边工艺调研..pptVIP

*; 一、激光原理;激光原理;激光产生的基本原理;激光产生的基本原理; 受激辐射会出现2个同样的光子，这2个光子又去激发其它粒子发生跃迁，因而又获得4个同样的光子。如此下去，在很短的时间内会辐射出大量完全相同的光子，这个过程称为“雪崩”。雪崩就是受激辐射光的放大过程。;激光的产生条件; 粒子数反转(内因) 外界激励（外因） 激光振荡（放大） ; 粒子数反转（内因） 外界激励（外因） 激光振荡（放大） ;激光的产生过程; 工作物质 激励装置 光学谐振腔 ; 工作物质 激励装置 光学谐振腔 ; 工作物质 激励装置 光学谐振腔 ; 具有较高能量密度的激光束照射在被加工材料表面，材料表面吸收激光能量，温度上升，产生熔融、烧蚀、蒸发从而达到去除表层的目的。; 二、激光刻蚀设备;P1（前电极层）: 前???极单元的分割P2（半导体层）: 电池层的分割，底、背电极的连接P3（背电极层）: 背电极分割，电池单元串联的集成;深圳大族 武汉楚天 珠海粤茂 苏州德龙 武汉三工 ; ;国外主要设备厂家： ;激光刻蚀设备简介：;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;送料系统 加工系统 定位系统 激光系统 除尘系统 控制系统 ;刻蚀设备系统视图：;激光刻蚀设备比较：; 三、激光清边工艺; 对非晶硅太阳能电池的边缘做绝缘处理 ;激光清边工艺：;激光清边系统主要构成：;红外激光器系统 声光调制系统 ;1.红外激光器系统 采用1064nm红外激光器，工作介质是掺钕钇铝石榴石晶体（Nd:YAG），泵浦源为半导体端面激光泵浦，激光器输出功率为250W。 ;2.声光调制系统 声光调制系统由声光电源和声光调制器（Q开关）两部分组成。 声光调Q技术是指在谐振腔中放入声光介质，通过电声转换形成超声波，使声光介质的折射率发生周期性变化，从而使激光能量以巨脉冲形式输出（Q值是谐振电路中的参数，Q值越高，谐振曲线越尖锐）。 声光调Q是一种广泛使用的 Q开关方式，其有重复频率高、性能可靠的优点。;激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 ;1.扩束系统 扩束镜是能够改变激光光束直径和发散角的透镜组件，也称准直镜，通常由共焦的两个透镜:一个负透镜和正透镜组成。 外光路可配置4倍扩束系统，保证光束的准直性。;激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 ;激光器系统 外光路系统 运动系统 控制系统 冷却系统 ;激光清边工艺流程：;激光清边工艺方案比较：;珠海粤茂;珠海粤茂;Thank you！