第2－数控测量装置.pptVIP

* 2. 均化误差作用 莫尔条纹是由光栅的大量刻线共同组成，例如，200条/mm的光栅，10mm宽的光栅就由2000条线纹组成，这样栅距之间的固有相邻误差就被平均化了，消除了栅距之间不均匀造成的误差。 3. 莫尔条纹的移动与栅距的移动成比例 当光栅尺移动一个栅距λ时，莫尔条纹也刚好移动了一个条纹节距p。只要通过光电元件测出莫尔条纹的数目，就可知道光栅移动了多少个栅距，工作台移动的距离可以计算出来。若光栅移动方向相反，则莫尔条纹移动方向也相反。 * 2.4.2 光栅位移-数字变换电路 １－机床移动部件的位移检测 标尺光栅安装在机床移动部件上，光栅读数头安装在机床固定部件。按摩尔条纹特点，当标尺光栅移动一个栅距时，莫尔条纹移动一个莫尔条纹宽度，即透过任一个窗口的光强变化一个周期。透过观察窗口透过的光强变化的周期数确定标尺光栅移动了一个栅距，测得机床移动部件位移。 * 光栅测量系统： * ２－确定移动部件的方向 从观察窗口a，b，c，d，可以得到4个在相位上依次超前或滞后1/4周期的近似余弦函数的光强变化过程。当标尺光栅沿着一个方向移动时，可得到4个光强信号，a滞后b π/2,…,当摩尔条纹反向移动时，4个光强变化为a超前b π/2, b超前c π/2, …,可以断定标尺光标沿反向移动。从4个观察窗口得到光强度变化