国家标准太阳能级硅片和硅料中氧 碳 硼和磷量的测定.doc

中华人民共和国国家标准 《太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼和磷量的测定 二次离子质谱法》 （送审稿）编制说明 一、工作简况 1.1 任务来源 根据国家标准委《关于下达2012年第一批国家标准制修订计划的通知》（国标委综合[2012]50号） 1.3 主要工作过程 1.3.1 SEMI PV25-1011翻译，草案形成 本标准由半材标委秘书处在2011年成都年会上提出立项需求，我公司积极承接，并于2012年初提出立项申请，8月份正式立项，9月份开始组建标准起草工作组，由江苏协鑫硅材料科技发展有限公司、北京合能阳光新能源技术有限公司、中铝宁夏能源集团有限公司宁夏银星多晶硅有限责任公司详细讨论并制定了本标准的相应工作计划。SIMS测试，以扩大硼、磷含量的测试适用范围”“增加太阳能级硅料的SIMS测试报告”等7条建议，2013年10-12月经相互合作，本起草小组共同努力圆满完成了所有的测试任务，并依据测试数据，对本标准的测试范围进行了调整，通过对比SEMI PV25标准，对不一致的地方进行了标注，形成2个资料性附录，2013年1月份完成标准修订工作，形成送审稿。 1.4 标准主要起草人 本标准主要起草人为薛抗美、夏根平、肖宗杰、盛之林、范占军、蒋建国、林清香、徐自亮、王泽林。起草人在光伏行业材料测试、标准编制起草方面有深厚的积累和经验。起草人的工作包括收集和整理相关文献资料，准备不同纯度太阳能级硅料和硅片样品，选择SIMS测试机构进行实验验证、结果分析和整理，标准和相关文件的撰写等。本标准主要起草人的简介见表1。 表1 本标准主要起草人简介表 姓名 单位 职务/职称 薛抗美 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 总工 夏根平 江苏协鑫硅材料科技发展有限公司 总监 肖宗杰 北京合能阳光新能源技术有限公司 董事长 盛之林 中铝宁夏能源集团有限公司 副总工程师 新能源装备事业部 总经理新能源装备事业部技术研发高级主管标准的编写格式按国家标准GB/T1.1-200《标准化工作导则第1部分：标准的结构和编写》的统一规定和要求进行编写。 2.2 标准的主要内容及依据 本标准的主要内容及依据如下： 2.2.1 本标准的主要内容 本标准的主要内容包括：二次离子质谱法测试太阳能级硅片和硅料中氧、碳、硼、磷元素的范围、测试原理、干扰因素、测量步骤和实验报告等。 由于本标准是采标标准，在整体内容上与SEMI PV25-1011保持一致，为适应我国标准体系和语言习惯，对标准章条编号进行了修改，对照一览见表2。 表2 本标准章条编号与SEMI PV25-1011章条编号对照 本标准章条编号 对应的国际标准章条编号 1.1 1.1 的第一句 1.2 2.3～2.5 1.3 1.2、2.1～2.2、2.6 — 1.1的第二句和第三句、1.3 2 4 3 5 4 6.1～6.3、6.4的第一句、6.5～6.6 5 3.1～3.7、3.9～3.10、6.9 — 6.4的第二～四句 — 3.8 6 7 — 9 7 7 8 10、2.7 9 12 10 6.7～6.8、11、13 11 15 12 14 — 16 2.2.2 本标准的依据 本标准修改采用SEMI PV25-1011，主要内容保持一致，经试验验证及会议讨论，为适应我国标准体系和语言习惯，对标准内容进行了一些技术性修改，本标准与SEMI PV25-1011的技术性差异及其原因的一览表见表3。 表3 本标准与SEMI PV25-1011技术性差异及其原因 本标准的章条编号 技术性差异 原因 1 删除SEMI PV25-1011的1.1中的第二句、第三句、1.3 这两句内容属描述性内容而非要求，我国标准体制和语言习惯，不适用于这种叙述。 2 SEMI PV25-1011的2.6中“O、C、B、P”的检测限由“氧含量≥5×1016atoms/cm3、碳含量≥1×1016atoms/cm3、硼含量≥1×1014atoms /cm3和磷含量≥2×1014atoms/cm3”调整为氧含量≥5×1016atoms/cm3、碳含量≥2×1016atoms /cm3、硼含量≥5×1013atoms/cm3和磷含量≥1×1014atoms/cm3”。 依据实际测试数据，对SIMS测试方法适用范围进行适当调整 3 关于规范性引用文件，本标准做了具有技术性差异的调整，调整的情况集中反映在在第2章“规范性引用文件”中，具体调整如下： ——用GB/T 2828.1代替了ASTM E122 ——增加引用了GB/T 14264 引用GB/T 2828.1和GB/T14264，便于标准适应我国技术条件，增加可操作性。 4 增加GB/T 14264中术语和定