测辐射热计性能评估与预测方法的研究（可编辑）.docVIP

测辐射热计性能评估与预测方法的研究 . . ? ,,,. , . ,. 伊 . . :, , 研究生论文专用纸 型塑型垫生丝竺鲨苎堡型立苎塑竺一一 论 绪 第一章 §.研究背景 非制冷测辐射热计探测器是近年来发展起来的一种新型红外探测器 件。它是随着大规模集成电路制造技术和新材料技术的发展而出现的;随 着固体器件工业的发展,还采用了现代半导体薄膜制造工艺。它的出现不 仅使传统的红外探测器研究发生了巨大的变革,同时也使红外探测系统的 广泛应用成为可能。 .. 测辐射热计红外探测器的起源 红外探测器是红外探测系统的核心元件,它的性能指标直接关系到整 个系统的性能。作为把入射的红外辐射能转化为其它形式能量的变换器, 红外探测器有多种分类,但一般按探测机理不同,可以分为光子探测器和 热探测器两大类。 二战以后,随着军事上对红外热成像技术的需求,作为热成像系统核 心部件的红外探测器得到了迅速的发展。六、七十年代,光伏型和 光导型红外探测器的开发工作取得成功,随之带来了机械扫描式 前视红外热成像和凝视型热成像系统在军事上的广泛应用。这时的红外探 测器多采用光子探测器,即入射红外辐射在探测器件中激发产生光生载流 子,载流子定向移动产生可测量的正比于入射辐射通量的光生电荷信号。 为了探测器能正常工作并获得最大的探测率,必须使探测器工作在低温制 冷条件下,以限制热噪声的影响。因此热成像系统需要昂贵的制冷和杜瓦 系统;这导致目前使用的红外探测系统成本高、可靠性差、维护困难,使 研究生论文专用纸塑墅垫丝壁竺:望型立堕塑竺里????????????一 其只能应用:关健军事装备和尖端科学技术,大大限制了它的发展。 工作机理与光子探测器不同,热探测器吸收红外辐射后,先引起器件 温度升高,由温升,伴随着器件襞种物理性质的变化,测量其变化大小 就可以确定入射辐射的能量和功率。热探测器主要包括:热电堆、测辐射 热计和热释电红外探测器等。热电堆是根据塞贝克效应检测热端和冷端之 间的温度梯度,信号形式是电压;测辐射热计探测温度变化引起的载流子 密度和迁移率的变化,其信号形式是电阻变化;热释电效应探测温度变化 引起介电常数和自发极化强度的变化,信号形式是电荷的变化。这三种情 况的比较如表.和表.所示。 热释电 温差电堆 测辐射热计 极化强度 原理 塞贝克效应 载流子浓度 温度变化 温度变化 对象 温度梯度 电阻△ 电压△ 信号 电荷△ 需要 温控 不需要 需要 不需要 不需要 不需要 调制 表. 热探测器基本原理的比较 热探热器 工作温度 时间常数 探测率 有效波长 。 类 型 ? ? × ≤ 热电偶? . ≤× 热电堆 . . 测辐射热计 一 ? ≤×。 热释电 表 四种热探测器关键性能参数的比较 从表和表中可知测辐射热计探测器在综合技术性能七优于其 研究生论文专用纸型塑塑垫盐丝堂堂堕量堡型互堕塑竺墨???????????一 它的热探测器。其优点主要在于: 将薄膜技术和半导体器件工艺相结合,具有较高的动态响 应范围和很好的噪声等效温差性能。 由器件:艺采用硅微细加工技术,可将探测器与信号读 出和处理电路集成在同一芯片上组成单芯片探测器且无须制冷、调制, 制作成本大为降低。 由于使用硅超大规模集成电路工艺。使得成千上万个微测 辐射热计探测器可以集成在同一硅片上,制成性能优良的探测器阵列, 且像素之间串扰小,像素越小,图像越清晰。 .。 测辐射热计红外探测器的应用 将测辐射热计红外探测器和多路信号读出和处理电路集成或互连而成 的非制冷红外焦平面阵列有很多技术优点,主要表现在:①工作在长波红 外;②能用与硅集成电路工艺相似的微机械加工技术制作;③可制成高密 度阵列;④不需要制冷;⑤不需要调制;⑥全固体结构,无真空系统;⑦ 体积小,重量轻;⑧使用、维护简单。因此成为非制冷红外焦平面探测器 发展的优选方案。其潜在的应用领域极其宽广如表.所示。 正是由于有如此优良的性能和广泛的应用前景,从八十年代中期以 来,世界各国的研究机构都将红外探测器研究的重点转向有可能实现低成 本、低功耗、高度集成和室温工作的测辐射热计红外探测器。 ..测辐射热计红外探测器的国内外研究现状 测辐射热计的研究工作始于五十年代,当时虽然从理论上论证可获得 较高的探测性能,但由于材料工艺和电子技术的限制始终无法制造出性能 令人满意的器件。八十年代初随着大规模集成电路制造技术和新材料技术 的发展,美国霍尼威尔公司传感器和系统发展中心重新开始研 研究生论文专用纸 .型塑盟垫生丝丝堡笪量塑型查鎏堕竺窒 制非制冷测辐射热计红外探测器,目的在于能生产在军事和商业上广泛应 用的低成本红外夜视系统。九十年代初研制成功了非制冷测辐射热计阵列 红外探测器系统,它是将测辐射热计探测器和互补金属?氧化物?半导 民用