磁场对导电液体材料流动状态影响的分析-analysis of the influence of magnetic field on the flow state of conductive liquid materials.docxVIP
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- 2018-07-05 发布于上海
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磁场对导电液体材料流动状态影响的分析-analysis of the influence of magnetic field on the flow state of conductive liquid materials
原创性声明本人郑重声明:所呈交的学位论文,是本人在导师指导下,进行研究工作所取得的成 果 。除文中已经注明引用的内容外,本学位论文不包含任何他人或集体已经发表的作品内 容,也不包含本人为获得其他学位而使用过的材料。对本论文所涉及的研究工作做出贡献 的其他个人或集体,均已在文中以明确方式 t?j? 明。本学位论文原创性声明的法律责任由本 人承担。学位论文作者 签名: 陈车在铃 附 : )1J1I 习外关于学位论文版权使用授权的说明本人完全了解河北丁业大学关于收集、保存、使用学位论文的以下规定:学校有权采 用影 印、缩印、扫描、数字化或其它手段保存论文;学校有权提供本 学位论文全文或者部 分内容的阅览服务:学校有权将学位论文的全部或部分内容编入有关数据库进行检索、交 流;学校有权向国家有关部门或者机构送交论文的 复 印件和电子版。(保密的学位论文在解密后适用本授权说明)学位论文作者 签 名: 陈丰在砾 叫:ν:9 /1 习讨导师签名:政爱 1气肌 71 毛2-)河北河北工业大学硕士论文磁场磁场对导电液体材料流动状态影响的研究 PAGE PAGE 1 PAGE PAGE 2第一章 绪论1.1 引言半导体材料是信息功能材料的重中之重,在医疗、化工、机械、电子、 国防等各个领域都占有不可替代的地位。近几年来,以光伏产业为核心的太 阳能电池产业也呈现发展速度快、产业规模大的特点。这就对信息材料提出 了新的要求:不断研制具有新功能的材料,同时,也要不断提高原有材料的 质量和性能。在对原有材料研究的基础上,如何提高材料的质量和材料的性 能变得越来越重要。目前,95%以上的半导体器件以及 99%以上的集成电路都 是用硅材料制成的[1],所以说,单晶硅的身影无处不在。单晶硅已经渗透到国 民经济和国防科技的各个领域。换句话说,作为科技应用材料的单晶硅材料, 已经渗透到人们生活的各个角落,随处可见。电脑、电视、手机、录像机、影碟机、音响、冰箱等电器设备中的半导 体管集成块、芯片等集成电路的制造都离不开硅材料,这都归功于硅材料的 耐高温和抗辐射性能好的特点。电器设备的日益普遍,对单晶硅片的需求量 也越来越多。器件厂家为了满足当今社会的发展需求,也为了达到提高生产 效率、降低生产成本、增加产品利润的目的,对硅单晶的质量和数量的要求 也在不断提高。对硅单晶的质量要求主要是:根据器件工艺需要控制氧含量、 降低各种有害杂质含量和微缺陷、保持电阻率纵横向分布均匀[1]等。器件厂家 通过不断扩大生产规模来实现对硅单晶数量的要求,也就是不断增大硅片产 量和直径。所以,大直径、高质量硅单晶的生长技术成为当前半导体材料领 域和太阳能领域的研发热点[2]。也就是说,当代直拉硅单晶正朝着“三高一大”[3](高纯度、高完整性、高均匀性和大直径)的方向发展,对单晶制备技术的 要求也越来越高。1.2 磁场在材料制备技术中的应用磁场是一种拥有特异功能的物质,当物质经过磁场处理后,就会被赋予 新的功能,发生很奇妙的变化。例如,地球就是一个大的磁场,大自然的物 质都存在于磁场中。磁场遍布在自然界的各个角落,而磁性则是一切物质的 基本属性,所以,磁场的应用十分广泛。就拿磁性很弱的地磁场来说,鸽子、候鸟等动物因体内含有感知地磁场的器官,可以借助地磁场辨别方向;某些细菌也可以沿着地磁场方向游动。所以说,磁场的重要性就好比阳光、空气 和水,是人类不可或缺的。90 年代以后,在生物医学、工业和农业领域,磁处理得到了非常广泛的应用。因此,磁场的应用技术已经渗透到各个领域。1.2.1 磁场在直拉硅技术中的应用在直拉硅单晶生长过程中,硅片直径增大会导致投料量增多。当投料量 增多后,晶体生长所需要的坩埚直径和热场尺寸也会相应增大。热场尺寸增 大后,容易造成熔体内部受热不均,使熔体温度不均匀,这样就容易在体内 产生热对流。熔体的热对流影响晶体质量,对流十分严重时,甚至会破坏晶 体生长[4]。为此,若想提高单晶的质量,首要问题就是如何抑制熔体的热对流。 经过不断探索研究,发现将磁场应用到直拉法生长硅单晶中,能够较有效的 控制熔体的流动。所以,磁场直拉硅技术已经是硅单晶生产的常规技术。前苏联著名物理学家 Ioffe 和 Rogel[5]曾提出:所有的导电液体都是由正负 离子组成。半导体材料的导电能力介于导体和绝缘体之间。当半导体材料处 于液态时,大部分是良的导体。例如,硅在液态时,其导电性与水银接近。 因此,推断硅熔体也是由正负离子构成的。带正电荷的硅粒子和自由电子组 成了硅熔体。熔体硅能够导电,因此,在晶体生长过程中,硅熔体的流动等 同于带电粒子的流动。根据文献[6]知道,磁场直拉硅的原理是:在磁场环境中,带电导体运动方 向不与磁力线平行时,会受到力的作用。在磁场环境中,运动的带电粒子受 到洛
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