PECVD培训课件资料--换管.ppt

11.安装防镀板 12.确认总体安装状况，清洁腔体及密封圈，关腔进行保压测试。 以上 谢谢！ PECVD培训资料 --- Roth&Rau PECVD 更换石英管 一：我们公司的 Roth&Rau PECVD Roth&Rau PECVD PECVD =Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition 即“等离子增强型化学气相沉积”，是一种化学气相沉积，其它的有HWCVD，LPCVD，MOCVD等。 PECVD是借助微波或射频等使含有薄膜组成原子的气体电离，在局部形成等离子体，而等离子化学活性很强，很容易发生反应，在基片上沉 积出所期望的薄膜。 二：换管工装 1.石英管 2.法兰接口(锁头) 3.铜棒 PS:为了便于安装,最好做下顺序编号,如1-6 4.天线 PS:为了便于安装,最好做下顺序编号,如1-6 可以在此处做编号标记 5.铝杯,铝环,密封圈,七孔片,4氟垫圈 铝杯 铝环 4氟垫圈 蓝色密封圈 黑色密封圈 七孔片 6.注意事项:在换管之前需要检查各特气孔的状况,必须对堵塞的特气空进行疏通,有必要则更换特气管道.在确认特气孔未堵塞的情况下方可换管. 堵塞啦! NG! 堵塞啦! NG! 疏通前： 疏通更换后 OK 三 ：换管 1用酒精清洗铝杯，铝环,密封圈,七孔片,4氟垫圈等工装，将洗好的铝杯蓝密封圈面向下码放在工作台面上。 2.如图示顺序将各工件安装到铝杯内。 2.1放七孔片（藕片） 2.2安装黑色密封圈 2.3安装4氟垫圈 2.4再次安装黑色密封圈 2.5再次安装4氟垫圈 2.6 铝杯内工件安装完毕确认 3将锁头如图安装到石英管上，并插入铜棒。 4 安装铝环至锁头内 5将安装好工件的铝杯安装到石英管上。注意铜棒要对准藕片的中心。 如上图所示，安装好一端后再安装另一端铝杯时，为了防止铜棒对不齐或者脱落，可借助细长工具对铜棒进行定位调节等。 安装好的铝杯与铜棒的配合： 6.将石英管安装到U型槽内，锁头卡进法兰，暂不要锁紧。 暂时不用锁紧，等天线插入OK后且铜棒未脱落再锁紧 如果锁头无法直接装入法兰可借助工具安装。 7.将12根将天线尖端插入到微波法兰内。 8.两人分别在设备左右同时插入天线至法兰及石英管内。 9.确认天线及铜棒安装状况，有无脱落，如有脱落需重新安装等。 10.锁紧锁头