第4篇第1节 Auger电子能谱(AES).ppt

Auger电子能谱(AES)Auger Electron spectroscopy AES ?? Auger效应 1925年P.Auger已经在Welson云室内观察到Auger电子径迹，并正确地解释了这种电子的来源。 尽管当时人们已经认识到它可以成为一种成分分析的手段，但直到六十年代中期，随着金属的超高真空系统和高效的微弱信号电子检测系统的发展，才出现了可以用于表面分析的实用Auger电子能谱仪。 AES ?? Auger效应 随着科学技术的不断发展，使Auger电子能谱仪的性能不断改进，并出现了扫描Auger电子显微术(SAM), 成为微区分析的有力工具。 电子计算机的引入，使Auger电子能谱仪的功能更趋完善。目前， Auger电子能谱已成为许多科学领域和工业应用中的最重要的表面分析手段之一。 AES ?? Auger效应 Auger效应 AES ?? Auger效应 如果终态空位之一(跃迁电子) 与初态空位处于同一主壳层，即WiXpYq (pq)，则称为Coster-Kronig跃迁或C-K跃迁。 C-K跃迁是一种快过程，根据测不准关系?E??t?h可知C-K过程中的?E比较大，因此，表现在能谱上是一个比较宽的Auger峰。 若两个终态空位都与初态空位处于同一主壳层， 即WiXpYq 型跃迁(pi，qi)，称为超C-K跃迁。 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 Auger跃迁 AES ?? Auger效应 Auger过程 AES ?? Auger效应 电子能级、X射线能级和电子数 AES ?? Auger效应 电子能级、X射线能级和电子数 AES ?? Auger效应 在实用的Auger电子能谱仪中，初态空位的产生是通过具有一定能量的电子束轰击样品表面而实现的。 用于表面分析的Auger电子的能量一般在0~2000eV（0～320×10-19 J）之间。 AES ?? Auger效应 俄歇电子的平均自由程很小（1nm左右），因此在较深区域中产生的俄歇电子在向表层运动时必然会因碰撞而损失能量，使之失去了具有特征能量的特点，而只有在距离表面层1nm左右范围内（即几个原子层厚度）逸出的俄歇电子才具备特征能量，因此俄歇电子特别适合做表面成分分析。 AES ?? Auger效应 Perkin-Elmer公司的Auger电子能谱手册，其中给出了各种原子不同系列的Auger峰位置。 每种元素的各种Auger电子的能量是识别该元素的重要依据。 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子几率 AES ?? Auger电子的能量和产额 平均自由程和平均逸出深度 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子能量 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子产额 AES ?? Auger电子的能量和产额 Auger电子产额 AES ?? Auger电子的能量和产额 AES ?? Auger电子的能量和产额 AES ?? AES装置 从1967年L.A.Harris采用微分方法和锁定放大技术，建立第一台实用的Auger电子谱仪以来，Auger电子谱仪无论是在结构配置上，还是在性能上都有了长足的改进。 Auger电子谱仪目前主要由Auger电子激发系统??电子枪，Auger电子能量分析系统??电子能量分析器，超高真空系统，数据采集和记录系统及样品清洗、剖离系统组成。 AES ?? Auger电子能谱的测量 在Auger电子能谱仪中，所采集的Auger电子谱中，不仅有Auger电子信号，同时也存在其它的二次电子。 用于分析的Auger电子的能量一般在0~2000eV，它所对应的平均自由程为0.5~3 nm，即1~5个原子层左右。因此，Auger电子的信号强度在整个电子信号中所占的比例是相当小的，即AES中有强大的背底。 AES ?? Auger电子能谱的测量 微分谱 用锁定放大技术和微分电路获取Auger电子微分谱，是人们解决强大背底所选用的重要方法之一。正是微分Auger电子能谱的出现，才使Auger电子能谱成为今天的重要表面分析技术之一。 传统的AES微分谱是通过对能量分析的扫描电压，用一微小的有固定频率的电压进行调制，然后通过锁定放大技术检测某一分波的振幅而实现的。 AES ?? Auger电子能谱的测量 微分谱 AES ?? Auger电子能谱的测量 直接谱 微分谱的优点在于显著提高了信背比，因而在目前进行的定量和定性分析中仍被广泛使用。然而，尽管微分谱提高了信背比，却降低了信噪比，改变了谱峰的形状。最为重要