第五讲 高能束加工.pptVIP

精密与特种加工 HIGH EDUCATION PRESS 激光加工（Laser Beam Machining，简称LBM）、离子束加工（Ion Beam Machining，简称IBM）、电子束加工（Electron Beam Machining，简称EBM）是新兴发展起来的特种加工技术。1949年德国首次在0.5mm不锈钢板上加工出0.2mm的小孔；1957年法国研究出第一台电子束加工设备；1960年美国第一台固体激光器。1961年我国在长春研究成功红宝石激光器。 特种加工——高能束加工 离子束加工是利用离子束对材料进行成型或改 性的加工方法。在真空条件下，将由离子源产生的 离子经过电场加速，获得一定速度的离子束投射到 材料表面，产生溅射效应和注入效应。 离子束加工 基本原理 离子碰撞过程：当入射离子碰到工件表面时， 撞击原子、分子发生能量交换。离子失去的部分能 量传给工件表面的原子、分子，当能量足够大时， 使它们从基体材料中分离出来，由此产生工件材料 的溅射。剩余的能量转变为材料晶格的振动。同时 入射离子与原子、分子进行能量交换，可以是一次 或者多次碰撞。 离子束加工 物理过程 离子碰撞过程模型图 被排斥Ar离子 回弹溅射原子 位移原子 格点间停留离子 一次溅射原子 Ar离子 二次溅射原子 Ar离子 格点置换离子 位移原子 工件表面 工件