臧洪涛-长度光栅测量系统误差修正技术.docVIP

长度光栅测量系统的误差修正技术【摘　要】长度测量技术是近几年工程建设领域、工业生产领域研究最多的问题，其测量系统分辨率早已经达到微米、亚微米乃至纳米等级。本文就长度光栅测量工作中出现的误差来源分析，简单的阐述了有关误差修正技术，仅供同行工作参考。【关键词】长度光栅测量系统；误差；修正技术；分辨率；测量结果目前，我国的长度光栅测量技术已经达到了微米级乃至纳米级。尤其是在近几年来，随着光电技术、计算机技术和信息技术的发展，长度光栅测量系统的革新不断加快，其应用范围也越来越广。在工作中，研究出分辨率高、准确度高的长度光栅测量系统已成为目前业界人士关注重点，也是当今长度测量工作的首要目标。但是在光栅测量系统的实际应用工作中，误差修正问题一直没有得到有效的解决，其对长度光栅测量系统的准确性造成威胁。因此，开展长度光栅测量系统的误差修正研究非常关键，也是促进光栅技术发展的核心内容。1、长度光栅测量系统误差来源长度光栅测量系统主要指的是利用光栅原理对正在移动的物体进行长度测量，它是通过接收、转换、细分、量化和显示的方式来对整个测量装置进行处理的过程。其在具体工作中，工作原理如下图所示，在长度光栅测量系统中，具体的测量工作包含了以下特点：首先同时具备了分辨率高、测量目标范围大的能力；其次，光栅的测量精确度高而且可以直接进行电子细分；再次在工作中光栅测量系统是一种只能测量系统，抗干扰能力强且环境适应性好。近年来，随着科学技术的飞速发展和加工水平的不断提高，利用精密机械和光学结合来保证测量系统的重复性、科学性和对信号进行细分化处理势在必行，这也是光栅测量系统中一个至关重要的内容。比如，在工作中我们常采用的双光栅系统，它在传统光栅系统基础上进行了创新，使得系统分辨率高达纳米等级。这一长度测量系统的应用包含了测量系统全程范围内的位移精确度情况。第二，栅栏距离之间本身存在细分化进度优点。因此，在测量的过程中可以直接对正在移动的物体进行测量，同时设备中除了具备标尺、光栅相关因素之外，还与光栅系统的内部结构、设计要求、调整情况有着密切的关系。在测量中，合理的栅距细分化不仅能和莫尔条纹信号相符合，而且系统的重复性和误差处理效果也相当明显。在工作中，我们通过提高光栅测量系统的水平，能够有效的解决各种光栅测量误差问题，但需要注意的是系统误差修正技术的研究仍然势在必行，这也是未来长度测量领域工作研究重点。2误差修正原理式中: W为误差; L为长度测量值; L0为长度标准值。请参阅图2,采用光电显微镜、线纹尺和最小二乘算法对长度光栅测量系统进行修正。在这里,线纹尺经过激光干涉仪标定用来检定长度光栅测量系统,其长度值作为修正系统的标准值;长度光栅测量系统的读数是修正系统的测量值。L是个随时间变化的量,通过在全程内选取适当条线纹,转换为离散的时间信号。在选取的条纹上取值,用光栅系统的位移量与线纹尺的标准值相比,差值即为误差。根据修正量等于负的误差的原理进行补偿。将各差值点用最小二乘法拟合,生成修正公式。将修正公式赋在长度光栅测量系统程序之中实现自动修正。重复上述过程,再次测出的差值为残差,如果残差大于预期要求,将残差值点用最小二乘法拟合,进行二次修正。2·1标准采用等间距玻璃线纹尺作为测量误差的标准。线纹尺经过激光干涉仪标定,将长度值溯源到激光波长。2·2误差测量将线纹尺放置在长度光栅测量系统动光栅的沿线上,与动光栅一起移动。在移动的过程中,用光电微微镜瞄准线纹尺上被选中的各条线纹,用线纹尺的标准长度与长度光栅测量系统的长度读数相比,差值即为长度光栅测量系统误差。以线纹尺的名义尺寸为序号,各条线纹的误差值可以用符号wi表示,其数学表达式为:式中: wi为某一点长度光栅测量系统误差; li为某一点长度光栅测量系统的长度读数; l′i表示线纹尺某条线纹相对零刻线的标准长度。修正值y:2·3误差修正根据公式(2)计算光栅测长系统的误差,以线纹尺长度为横轴,以测得的误差为纵轴建立直角坐标,各个点的误差分布如图4所示。根据最小二乘法,用多谐波近似逼近的方法拟合这条误差分布曲线,其表达式为:式中: y为修正量表达式; M为常数,为放置线纹尺时线纹尺零刻线与光栅系统零位光栅的位置之差; A为拟合系数; x为光栅系统的长度; i为谐波次数。将修正量表达式赋在长度光栅测量系统修正程序中,能够实现自动修正。3实验研究以200mm长线纹尺作为标准。线纹尺线纹间隔1mm,经过精光干涉仪标定。以KJY精密孔径仪光栅系统为实验研究对象,试验装置由光电显微镜、滑板、可调工作台、线纹尺和光栅系统组成,参见图3。KJY精密孔径仪的光栅系统采用RENISHAW的0·1μm的光栅头及光栅尺,光电显微镜的瞄准精度为0·03μm。可调工作台置于仪器的滑板上,滑板与仪器的光栅系统刚性连接。将线纹尺安装在可调工作台