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第9章 扫描电子显微镜 (SEM, 扫描电镜) Scanning Electron Microscope  9.1 电子与物质的相互作用 9.2 扫描电镜结构和成像原理 9.3 场发射扫描电子显微镜 9.4 电子探针显微分析（EPMA） 扫描电子显微镜（SEM） “扫描电子显微镜”定义：Scanning electron microscope （SEM）。 定义1：用电子枪（一次电子）对样品表面扫描使其成像的电子显微镜。 定义2：应用电子束在样品表面扫描激发出二次电子成像的电子显微镜。主要用于研究样品表面的形貌与成分。所属学科：光学仪器（二级学科）；电子光学仪器-电子显微镜（三级学科） 场发射电子是很细很密的电子束，场发射电子显微镜基本结构与普通扫描电镜相同。 扫描电镜(SEM)前言 1965年之后，SEM的发展与X射线有关。安装X 射线能谱仪或波谱仪（EDS or WDS）到扫描电镜上面可以同时快速、有效获取同一区域上的表面形貌、晶型和组成信息。扫描电子显微镜法的理论基础是研究电子与物质的相互作用。因此本章首先介绍电子与物质的相互作用，然后探讨扫描电子显微镜的方法与原理。 20世纪80年代出现的环境扫描电镜ESEM，根据需要试样可处于压力为1-2600 Pa不同气氛的高气压低真空环境中，开辟了新的应用领域。与试样室内10 - 3 Pa的高真空常规SEM不同