第六章电容式传感器-重庆大学-广西大学-传感器和检测技术-课件.pptVIP

调频测量电路的特点是： 灵敏度高，可测量0.01μm甚至更小的位移变化量； 可以输出频率信号，易于和数字式仪表及计算机连接； 输出有较大的非线性，且受温度和连接电缆电容的影响较大，这给传感器和测量电路的设计带来一定的麻烦。 6.2 测量电路 3、谐振电路 电容传感器的电容Cx作为谐振回路(L2、C2、Cx)调谐电容的一部分。谐振回路通过电感耦合，从稳定的高频振荡器取得振荡电压。当传感器电容发生变化时，使得谐振回路的阻抗发生相应的变化，被转换为电压或电流，再经过放大、检波即可得到相应的输出。 6.2 测量电路 6.2 测量电路 4、运算放大器电路 输出电压与间隙成线性关系。 输出电压与极距成线性关系，这就从原理上解决了使用单个变极距型电容式传感器输出特性的非线性问题。 对于变面积型电容式传感器，可将传感器电容Cx和固定电容C0在电路中的位置对调，此时输出电压与极板面积成线性关系。 6.2 测量电路 ·选取C0等于传感器初始电容值Cx0，则电路输出电压的初始值为零。 ·固定电容C0在测量过程中，还起到了参比测量的作用。因而当C0和Cx结构参数及材料完全相同时，其环境温度对测量的影响可以得到补偿 上图所示电路输出电压的初始值不为零，为了实现零点迁移，可采用如图所示电路。 5、差动脉冲宽度调制电路 直流输出电压与输入(间隙变化)成线性关系。 6.2