检测技术及仪表 教学课件 作者 樊春玲 第2章压力测量.ppt

2.4.5 霍尔式压力传感器 霍尔式压力传感器基于“霍尔效应”原理，利用弹性敏感元件将压力转变为位移，经霍尔元件转换为霍尔电势，实现压力－位移－电势的转换。通过测量电路把霍尔电势进一步转换为可以远传的电压或电流等信号，实现压力的检测。 * 1. 霍尔效应与霍尔元件 （1）霍尔效应 置于磁场中的静止载流导体，当电流方向与磁场方向不一致时，载流导体上平行于电流和磁场方向的两个面之间产生电动势，这种现象称为霍尔效应，该电势称为霍尔电势。 * 半导体薄片置于磁感应强度为B 的磁场中，磁场方向垂直于薄片，当有电流I 流过薄片时，在垂直于电流和磁场的方向上将产生电动势EH，这种现象称为霍尔效应。 磁感应强度B为零时的情况 c d a b * 磁感应强度B 较大时的情况 作用在半导体薄片上的磁场强度B越强，霍尔电势也就越高。霍尔电势EH可用下式表示： EH=KH IB * 霍尔效应演示 当磁场垂直于薄片时，电子受到洛仑兹力的作用，向内侧偏移，在半导体薄片c、d方向的端面之间建立起霍尔电势。 c d a b * 磁场不垂直于霍尔元件时的霍尔电动势 若磁感应强度B不垂直于霍尔元件，而是与其法线成某一角度? 时，实际上作用于霍尔元件上的有效磁感应强度是其法线方向（与薄片垂直的方向）的分量，即Bcos?，这时的霍尔电势为 EH=KHIBcos? 结论：霍尔电势与输入电流I、磁感应强度B成正比，且当B的方向改变时，霍尔电势的方向也随之改变。如果所施加的磁场为交变磁场，则霍尔电势为同频率的交变电势。 * 霍尔电势： 令： 则： * 2.霍尔效应在压力测量中的应用： 对于材料和结构已定的霍尔片，其霍尔电势仅与B和I有关。如果我们通过稳压电源确保流过霍尔片的直流电流I恒定，则霍尔电势的大小就仅由通过霍尔片的磁感应强度B来决定了。 图2-22 霍尔式位移检测效应原理 * 将霍尔片H置于两对极靴间的中央平衡位置时，由于霍尔片两半所通过的磁通大小相等、方向相反，相互对称，故由两个方向相反的磁场而产生的霍尔电势大小相等，方向相反。因此在霍尔片两端导出的总电势为零。 但在压力测量中，如果我们首先由弹性元件将被测压力变换成位移X，并把这个位置传给霍尔片H，则霍尔片就会偏离平衡位置而产生位移△x,这时在霍尔片两端所产生的两个极性相反的电势之和就不再为零，从而就有一个霍尔电势输出。从上图可以看到，由于磁场的分布为线性非均匀磁场，所以霍尔片由位移而产生的电势与其偏移量△x成线性对应关系，从而就实现了压力→位移→电势的转换 * 霍尔元件在应用中的问题： 霍尔元件对温度变化敏感，应用中需采取恒温或温度补偿措施。这是半导体材料的特点。 要确保恒流特性，否则会带来较大误差 易存在不等位电势，主要是由霍尔片电阻率不均匀，厚度不均匀，以及在工艺上无法保证A、B完全处于同一等位面上，由此都会产生测量误差。 * 3. 霍尔式压力传感器 若保持霍尔元件的控制电流不变，霍尔元件置于一个均匀梯度的磁场中可以检测位移量，如上图2-22所示。霍尔元件沿方向移动，则输出霍尔电势为： （2-51） * （1）霍尔式压力传感器结构 霍尔式压力传感器由两部分组成，一是弹性敏感元件，用来感受被测压力；另一部分是霍尔元件和磁路系统。一种霍尔式压力传感器的结构原理如图2-23所示. 图2-23 霍尔式压力传感器 1—弹簧管；2—霍尔元件；3—磁极 * （2）霍尔式压力传感器特点 霍尔式压力传感器结构简单、体积小、灵敏度较高；由于它是弹性元件与霍尔元件的组合体，动态特性主要由弹性元件的性能决定。但是信号转换效率低、温度影响大，在测量精度要求较高的场合必须进行不等位电势和温度补偿。 * 2.5 压力表的选择和校验 1、压力表的选择 压力表的选择主要包括仪表型式、量程范围、精度和灵敏度、外形尺寸以及是否还需要远传和其他功能，如指示、记录、报警、控制等。选用的依据如下： （1）必须满足工艺生产过程的要求，包括量程和精度； 仪表量程的选择： 为了保证弹性元件在弹性形变的安全范围内工作，在确定仪表量程时，必须考虑留有余力。 a.在被测压力比较稳定的情况下，最大压力值应不超过满量程的3/4。 b.在被测压力波动较大的情况下，最大压力值应不超过满量程的2/3。 c.为了保证测量精度，被测压力值应不低于全量程的1/3. * 精度等级的选择 应根据生产允许的最大测量误差来确定仪表的精度。一般在满足生产要求的情况下，尽可能选用精度较低、价廉耐用的压力表。 （2）考虑被测介