6.4 激光准直和多自由度测量.pptVIP

上一页 回首页 下一页 回末页 回目录 第六章 激光在精密测量中的应用 §6.4 激光准直及多自由度测量 * §1.7 光的相干性 第一章 辐射理论概要 上一页 回首页 下一页 回末页 第一章 回目录 6.4.1 激光准直仪 1. 激光准直仪的原理和结构 激光束横截面上的光强分布是“高斯分布”，光束的能量大部分集中在有效半径 为 的截面内。由于中心光强最大，所以光束分布中心连线可以构成一条理想的准直基准线。 TEM00光束远场发散角2?的公式为： 为了便于控制和提高对准精度，一般的激光准直仪都采用光电探测器来对准，因此准直仪的基本组成有如下几个部分（图6-21） 图6-21 激光准直仪的基本组成方框图 6.4.1 激光准直仪 2. 发射光学系统 激光准值仪的发射光学系统是一个倒置的望远镜，其结构如图（6-22）所示 如果 ， 分别为高斯光束入射和出射该望远系统的光束发散角的话，令该望远系统对高斯光束的发散角压缩比为 ，则有 图6-22 激光准直仪光学系统结构示意图 根据圆孔的夫琅和费衍射理论可知,一个直径为D的圆孔所造成的衍射角(即光束发散角的一半)为 6.4.1 激光准直仪 3. 光电目标靶 激光准直仪的光电目标靶通常用的是四象限光探测器，如图6-23所示 图6-24是激光准直仪测量机床导轨不直度的示意图。 图6-23 四象限光电探测器原理图 4. 激光准直测量的应用举例：不直度的测量 图6-24 机床导轨不直度的激光准直测量原理示意图 6.4.2 激光衍射准直仪 1.利用激光的单色性，让激光束通过一定图案的波带片，产生便于对准的衍射图像，从而提高精度。这种利用衍射原理的激光准直仪叫激光衍射准直仪。它的原理结构如图6-25所示。 图6-25 激光衍射准直仪的原理结构图 2.波带片是一块具有一定遮光图案的平玻璃片（图6-26） 图6-26 波带片示意图 6.4.3 激光多自由度测量 1.四自由度测量系统 2. 五自由度和六自由度测量系统 中心孔式:图6-27(a)所示； 分光式:图6-27(b)所示；反射式:图6-27(c)所示 图6-27 四自由度测量系统的典型结构 五自由度和六自由度的测量，目前主要有两种方式 美国密西根大学研究了一种光学测量系统，可同时测量机床五维几何误差。如图6-28所示 图6-28 波带片示意图