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R600 黄志斌 一、分步流程：Wash Clean:清洗放板机→入料→ eq \o\ac(○,1)风切（吹除玻璃表面粉尘）→脱脂毛刷→风切（清洗液循环回收）→ eq \o\ac(○,2)风切→纯水洗→循环水洗→→超声波水洗→ eq \o\ac(○,3)加压水洗→加压水洗→BJ洗净（雾化清洗）→纯水洗→ eq \o\ac(○,4)吹干→出料→IR/UV/CP：红外/紫外/冷却IR（IR*n）→UV（杀灭板面上存在的有机物/体）→CP（冷板）→*有机体/物的存在会降低光阻（PR）的附着能力，影响光阻涂布的质量效果PR Coating（Spin/Roller/Slit）：光阻涂布暂存机→PR Roller Coater→输送机（3线Metal线：无输送机）→*前挤量和下压量：两者一起控制膜厚和涂布质量远端/近端：靠近人员操作平台一侧为近端，反之则为远端；两者综合一起反映了待涂布板面的水平程度Pre-bake:软烤热风烤箱→90℃-110℃-140℃*如无特别要求，最后两块冷板默认温度分别为25℃和20# 软烤后进行涂布确认，可能出现的异常有：异常种类可能原因影响效果处理备注箭影涂布前清洗或烘烤不干净；PR粘度过大；涂布机参数不匹配影响蚀刻请PE/ME改善，超标则需返工导轮印机台原因影响外观请PE/ME改善，注意机台保养有导轮的环节都有可能出现此问题针孔光阻液中有气泡或涂布