电子科技大学（真空技术）期末考试.docVIP

学院 姓名 学号 任课老师 选课号 ………密………封………线………以………内………答………题………无………效……第 PAGE 3 页 共 NUMPAGES 4页电子科技大学二零一 零 至二零一 一 学年第 二 学期期 期末 考试 真空技术 课程考试题 A卷 （ 120分钟） 考试形式：开卷 考试日期 201 1年 月 日课程成绩构成：平时 20 分， 期中 0 分， 实验 10 分， 期末 70 分一二三四五六七八九十合计一.问答题（每题6分）“对具有某一温度的气体，可以根据麦克斯韦速率分布律，计算出具有某一速度的气体分子在总分子数中所占的比例”这一表述正确否？为什么？答：不正确。因为气体分子与气体分子间的碰撞使气体分子的速度不为某一恒定值，即讨论“具有某一速度的分子数”是没有物理意义的，只能讨论“处于某一速度区间”的分子数。试举2例单位时间碰壁数在真空技术中应用的例子。答：1）扩散泵的最大比抽速2）分子流孔眼的流导3)材料分子在表面上的蒸发和凝聚；4）消气剂的工作过程 ……溅射离子泵和低温冷凝泵都是吸附型真空泵，其吸附机理有何不同？答：溅射离子泵的工作机理是化学吸附。（3分）低温冷凝泵的是物理吸附。（3分）简述真空泵何氏系数的物理意义。答：何氏系数是打到真空泵泵口抽气截面上的气体分子中，被真空泵抽走的分子的比例。与普通的热阴极电离规相比较，B-A规的结构主要做了什么改进，使B-A规能测量到超高真空？答：B-A规大大减小了离子收集极的表面积，使离子收集极所接收的光电子电流减小了几个数量级。与磁质谱计相比较，四极场质谱计有什么特点？1）四极质谱规工作时不需要磁铁，因而体积小、重量轻，可以经受更高的烘烤温度。（4分）2）四极质谱计的分辨率可以很方便的调整，而磁质谱计的分辨率不可调。（2分）氦质谱检漏仪要为什么采用氦气为示漏气体？答：采用氦作为示漏气体的原因是：氦在大气中的含量极少，只占1/20，而且在一般材料的放气成分中，氦的成分几乎为零，这样可以避免对示漏信号的干扰，有利于最小漏孔的检出；（2分）氦分子小，质量轻，扩散系数大，易于穿过漏孔；(1分)在质谱图上，与质量数4相邻近的质量数的峰很少，因此质谱计轨的分辨率可以设计得低些，以求获得较高的灵敏度；（1分）氦是惰性气体，不会引起化学反应，不污染真空系统，检漏作业安全；（1分）氦离子质荷比小，故偏转半径小，分析器的尺寸可小些，或可用较弱的磁场。（1分）真空系统被抽容器的极限压强与什么因素有关？答：1)与真空系统在被抽容器处的有效抽速有关2)与被抽容器的放气和漏气量有关。二.计算题1.真空蒸发镀膜中，蒸发源与被镀基片间的间距为10cm，在1×10-3Pa的空气压强下蒸发镀膜，问有多少膜料蒸发原子在中途被空气分子碰撞掉？（16解：（4分）（（4分）（6分）（6分）求20℃，1×10-4Pa压强下氩气分子在铁表面单位面积上的吸附分子数。（设吸附几率为0.9，吸附热为7.96KJ/mol，τ0=5×10-12S，吸附成功率C=1，f(θ)=1，波尔兹曼常数k=1.38×10-23J/度,气体普适常数R=8.315J/度·mol) (16分)解：（5（5分）（（5分）（（6分，其中单位2分）3.一抽速为400 L/s的涡轮分子泵，通过一长为30cm、内径为4cm的管道对一体积为30 L 的容器抽真空，由于容器有漏孔，容器中平衡压强只有2×10—2 （1）漏孔的大小； （2）堵漏后容器中压强抽至5×10—4Pa所需的时间。（3）若容器中的工作真空度为2×10-5Pa,计算其允许漏率为多少？（20分）解：（1）求系统对容器的有效抽速Se（（2分）（（2分）（（3分）（3分）（3分）（（4分）（3）（（4分）（（2分）