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调频电路 一、调频电路　　 把电容式传感器作为振荡器谐振回路的一部分.当输入量导致电容量发生变化时，振荡器的振荡频率就发生变化。 式中：C——振荡回路的总电容，C=C1+C2+Cx，其中C1为振荡回路固有电容，C2为传感器引线分布电容，Cx=C0±ΔC为传感器的电容。 调频式测量电路原理框图 3.4.1 调频电路 微分网络+包络检波 当被测信号为0时，ΔC=0，则C=C1+C2+C0，所以振荡器有一个固有频率f0, 其表示式为 　　当被测信号不为0时，ΔC≠0， 振荡器频率有相应变化， 此时频率为 3.4.1 调频电路 调频电容传感器测量电路具有较高的灵敏度， 可以测量高至0.01μm级位移变化量。信号的输出易于用数字仪器测量，并与计算机通讯; 抗干扰能力强，可以发送、 接收，以达到遥测遥控的目的。 简单收音机重要组成部分的调谐电路一直采用传统的可变电容、电感手动调台方式。调谐回路的电感和电容参数决定了频率调谐范围。 3.4.1 调频电路 运算放大器式电路 由于运算放大器的放大倍数非常大，而且输入阻抗Zi很高, 运算放大器的这一特点可以作为电容式传感器比较理想的测量电路。如图。 由运算放大器工作原理可得 如果传感器是一只平板电容，则Cx=εS/d，可得 3.4.2 运算放大器式的测量电路 运算放大器式电路原理图 3.4 .2 运算放大器式电路 0 I C0 i U a I x I C x o U A 3.4.3 电桥电路 紧耦合式电感电桥 变压器式电桥电路 变压器式电桥电路 3.4 脉冲调制电路 脉冲调制的原理 脉冲调制的电容测量电路 4、脉冲宽度调制电路 脉冲宽度调制电路图 R S 脉冲宽度调制电路电压波形 Uo输出为: 式中： U1——触发器输出高电平； T1、T2 ——Cx1、Cx2充电至Ur时所需时间。 3.4 电容式传感器的测量电路 由电路知识可知 将T1、T2代入，且设R1=R2, 得 3.4 电容式传感器的测量电路 把平行板电容的公式代入，在变极板距离的情况下可得 式中, d1、d2分别为Cx1、Cx2极板间距离。 当差动电容Cx1= Cx2=C0，即d1=d2=d0时，Uo=0； 若Cx1≠Cx2， 设Cx1 Cx2 ，即d1=d0-Δd, d2=d0+Δd, 则有 3.4 电容式传感器的测量电路 同样， 在变面积电容传感器中， 则有 由此可见，差动脉宽调制电路适用于变极板距离以及变面积差动式电容传感器，并具有线性特性，且转换效率高。经过低通放大器就有较大的直流输出。 3.4 电容式传感器的测量电路 影响电容传感器精度的因素分析 1. 温度的影响 2. 边缘效应 3. 寄生电容 4. 静电引力 (1) 温度影响 环境温度的变化将改变电容传感器的输出相对被测输入量的单值函数关系，从而引入温度干扰误差。这种影响主要有以下两个方面： 温度对结构尺寸的影响： 电容传感器由于极间隙很小而对结构尺寸的变化特别敏感。在传感器各零件材料线膨胀系数不匹配的情况下，温度变化将导致极间隙较大的相对变化，从而产生很大的测量误差。 （2）温度对介电常数的影响 随介质不同而异，空气及云母的介电常数温度系数近似为零； 而某些液体介质，如硅油、蓖麻油、煤油等，其介电常数的温度系数较大。例如煤油的介电常数温度系数可达0.07％/℃； 若环境温度变化±50℃，则将带来7％的温度误差，故采用此类介质时必须注意温度变化造成的误差。 以上分析各种电容式传感器时，忽略了边缘效应的影响。实际上当极板厚度h与极距δ之比相对较大时，边缘效应的影响就不能忽略。 这时，对极板半径为r的变极距型电容传感器，其电容值应按下式计算 函数 的数值通过查表可以得到。 3. 边缘效应 边缘效应不仅使电容传感器的灵敏度降低，而且产生非线性。为了消除边缘效应的影响，可以采用带有保护环的结构。 保护环与定极板同心、电气上绝缘且间隙越小越好，同时始终保持等电位，以保证中间工作区得到均匀的场强分布，从而克服边缘效应的影响。 为减小极板厚度，往往不用整块金属板做极板，而用石英或陶瓷等非金属材料，蒸涂一薄层金属作为极板。 3. 边缘效应 4 静电引力 电容式传感器两极板间因存在静电场，而作用有静电引力或力矩。 静电引力的大小与极板间的工作电压、介电常数、极间距离有关。 通常这种静电引力很小，但在采用推动力很小的弹性敏感元件情况下，须考虑因静电引力造成的测量误差。 5 寄生电容 电容式传感器由于受结构与尺寸的限制，其电容量都很小(pF到几十pF)，属于小功率、高阻抗器件，因此极易受外界干扰，尤其是受大于它几倍、几十倍的、且具有随