电镜在陶瓷类样品观察中的应用浅析（下）.PDFVIP

电镜在陶瓷类样品观察中的应用浅析 （下 ） 发布者 ：飞纳电镜 如何使用扫描电镜获取最佳的陶瓷类样品图像 ？飞纳电镜与你一起全方位 ，多角度分析这个 问题。 a （） （ ） b 图 1 同类陶瓷相同电压不同电流的对比 (a)10kV 电流 Low 放大倍数 500× (b)10kV 电流 Image 放大倍数 350× 图 1显示了同一类样品在相同电压、不同电流模式下的对比图。可以看出 ，随着电流的增 加图像的细腻度增加 ，信噪比增加 ，图像质量上升了。这主要是由于相同加速电压下 ，当增 加电子束电流之后 ，有更多的电子跟样品发生相互作用 ，电子束在单像素停留时 ，有更多电 1 子和样品发生相互作用 ，探头接受了更多的 BSD信号 ；另一方面 ，图像中单像素范围内电 子束与样品的相互作用范围增大 ，相邻像素的电子束作用范围重合度增加 ，这样一来单像素 的灰度值与邻近像素的灰度值更趋于接近 ，灰度变化曲线的平滑性更好 ，给人一种细腻的视 觉感受。对应的劣势也很明显 ，增加电流之后 ，电子束变粗 ，分辨率略有下降。 a （） （ ） b 图 2 同类陶瓷相同电流不同电压下的对比 (a)电压 5kV 放大倍数 350× (b)电压 15kV 放大倍数 350× 图 2反映了相同电流不同加速电压下的陶瓷样品形貌对比 ，可以看出随着加速电压的增大 ， 样品表面的细节信息变少 ，尤其是红色圆圈部分的最表层黑色附着物 ，在低压下可以轻松分 辨 ，但是高压下却很难看到明显的衬度差异。这种现象与传统观念中认为的 “电压越高分辨 率越高”似乎存在矛盾的地方 ，这是为什么呢 ？传统上来讲 ，根据量子力学定律 ΔE hν hc/λ 其中 ，ΔE为电子的能量变化 ，h为普朗克常数 ，c 为光速 ，ν为电子的频率 ，λ为电子波长。 2 电子被加速的能量越高 ，它具有的波长越小 ，也就是说图 2 （b ）中具有更小的电子束波长。 再根据显微镜的分辨率 d 的理论计算公式 Rom d th 公式中 ，λ为电子束波长 ，α为孔径半张角 ，n为透镜和样品之间介质之间的折射率。分辨 率跟波长成正比 ，d∝λ。这样计算 ，图 2(a)的分辨率比图 2(b)要低一些。 图 3 电子束和样品的相互作用区 但是实际上 ，不仅要考虑绝对分辨率这个单一参数 ，而且要综合考虑电子束与样品的相互作 用 ，以能够反映观测者所需要的信息 ，为最终衡量标准来判断。图 3 中反映的是电子束和 样品的相互作用区三维图和示意图 ，加速电压越高 ，1~2μm的 BSE信号产生区将会向下扩 展 ，也就意味着图 2(a)中包含了更多表面细节信息的信号 ，而图 2(b)中则包含了更多深层 次信息 ，更表层的原子信息比例减少。这就解释了图 2(b)中分辨率更高 ，反而细节信息更 少的原因。这也是为什么在采购电子显微镜时 ，往往不能只看最高分辨率