GB/T 15909-1995电子工业用气体　硅烷(SiH4).pdf

中华人 民共和 国国家标准 GB/T 15909一1995 电子工业用气体 硅烷((SiH4) Gasforelectronicindustry-Silane 1 主题内容与适用范围 本标准规定了电子工业用硅烷气体的技术要求、检验方法、检验规则、包装、标志、运输、贮存和安全 要求等。 本标准主要用于电子工业中多晶硅和单晶硅外延淀积、二氧化硅的低温化学汽相淀积、非晶硅薄膜 淀积等 分子式:SiH, 相对分子质量:32.117(按 1991年国际相对原子质量)。 101.3kPa下的沸点:一112C. 20C和101.3kPa下气体密度:1.342kg/m, 一185C下液体密度:711kg/m. 2 引用标准 GB19。危险货物包装标志 (;B/T3051无机化工产品中氯化物含量测定的通用方法 汞量法 GB/T5274气体分析 校准用混和气体的制备 称量法 (;B/T5832.1气体中微量水分的测定 电解法 GB7144 气瓶颜色标记 3 技术要求 31 质里指标 硅烷的质量应符合下表的要求。对硅烷中重金属和颗粒的要求由供方与用户商定。 项 目 指 标 纯度:10。 ) 99 一氧化碳和二氧化碳((一()+CO2),10-, ( 5 氛化物总量(包括抓硅烷,HC)等可离子化的抓化物),10- ( 100 烃(G-C,),10 ‘ 蕊 40 氢(H)10 “ 成 9000 氮(N,).10 “ 镇 40 氧(()),10 ‘ 簇 5 水(H,0),10 ‘ 成 3 国家技术监督局1995门2一20批准 1996一08一01实施 cs/T 15909一1995 注:① 表中纯度及杂质含量均以序尔分数表示mol/mol ② 多晶硅或二氧化硅用途不规定氮含量。 3.2 电性能规格 电阻率应大于100Slcm(N型)，电阻率的测定方式由供方与用户商定。 4 检验方法 4.1 纯度 硅烷的纯度用摩尔分数表示，按式((1)计算，对于多晶硅或二氧化硅用途，不计入X_s(氮含量) X= 100一 (X,+X2+X,+X,+X,+X ‘十X7)X10-4 式中 X— 硅烷纯度(摩尔分数),10-2; X— 一氧化碳和二氧化碳(C0+C02)含量(摩尔分数),10-`; X2- 氯化物总量(摩尔分数),10-1; X— 烃(CI-C3)含量(摩尔分数),10一“; X, 氢(H2)含量(摩尔分数),10-6; X,— 氮(N2)含量(摩尔分数),10-`; X,- 氧(02)含量(摩尔分数),10-s; X7— 水(H2O)含量(摩尔分数),10-so 一氧化碳和二氧化碳含量的测定 :.:.， 仪器与方法 采用带有热导检测器或氦离子化检验器的气相色谱仪，也可采用色质联用仪测定硅烷中的一氧化 碳和二氧化碳。 方法检测极限(摩尔分数):1X1。一。 4.2.2 操作条件 色谱柱:内装P.W.Carbospher