上虞晶盛单晶炉操作说明书.docVIP

第 第- PAGE 13 -页 第一章 单晶生长条件 1.1 设备要求 1.1.1 运行条件（以下以 TDR-85A-ZJS 炉为例，其余炉型要求参照说明书） （1）冷却水要求 水压：炉子进出水压差要求介于 2~3 公斤之间，真空泵进出水压差要求 1.5 公斤以上； 炉子进水压力不可超过 3.5 公斤，炉子上冷却水安全阀设置压力 6 公斤； 水流率：炉子和电源要求供水量不低于 250 升每分钟，单独电源要求供水量不低于 20 升每分钟； 水温：推荐进水温度 18~24oC，最大不超过 25oC； 水质：弱碱性水，PH 值 6~9；氯离子含量≤10ppm，碳酸钙含量≤50ppm；以纯净软水为好。 连接方式：进出水管与炉子之间采用软连接，防止震动传递到炉子。 （2）压缩空气要求 气压：≥7 公斤；推荐在压缩空气入口处使用压力调节器。 流率：≥2.5 升每秒； 汽缸容积：主真空球阀：2 升；辅助真空球阀：0.5 升。 （3）电力要求 相制：3 相 AC380V(±10%)/50Hz； 功率：≥192KVA。 配电柜应装有 500V、400V 的空气开关，和 380V/400A 的隔离开关。 （4）炉子真空要求 空炉真空度：≤15mTorr； 空炉泄漏率：≤30mTorr/hr； 带热场泄漏率：≤50mTorr/hr。（热场已经煅烧完全） 1.1.2 日常维护 （1）坩埚轴驱动部件