准分子雷射名称中的准分子eximer为excited的前半部与dimer的後半.DOC

一、準分子雷射的基本概念: 準分子雷射名稱中的準分子 ”eximer”為excited的前半部與dimer的後半部組合而成的。準分子雷射的工作物質是準分子氣體。 一般的氣體分子，他們在一般的狀況下，如果沒有外來影響，如加熱、光照或電子碰撞，不會自行分解成其他分子或離子，準分子則不然。準分子就是一種處於激發態的複合粒子，在標準狀態下，即在基態時，它處於分離狀態，而在激發態處於分子狀態。也就是說，這種分子只存在於激發態，不存在於基態。基態時，分子在很短時間內(幾十毫微秒)自動分解成離子或其他分子。 準分子例如ArF，KrCl，KrF，XeBr，XeCl，XeF等，是由一個惰性氣體原子如He，Ne，Ar，Kr與化學活性較活潑的鹵素原子如F，Cl，Br組成的。惰性氣體原子原本是不會和別種原子形成分子的，但是如果把它們和鹵素元素混合，再以放電來激發他們，就可能成為激發態的分子，當激發態放出光子而躍遷回基態時，及立刻分解，還原成本來的特性後，而激發出高功率的紫外光。 如圖(一)所示，KrF是在激發態的分子，它的位能曲線有一極小值，表示中間有一平衡點，所以是分子。在X2?低能階，乃是受溫度激發而成，分子結合甚弱，其量甚少，因此只要激發到激發態，就很容易達到population inversion，而增益相對提高。準分子雷射和N2分子雷射相似，亦為電子態之間躍遷發射雷射，雷射波長多在紫外區和