第1讲绪论第2讲电子光学基础.ppt

电子显微分析 Electron Micro-Analysis 王明光 ggg085@ 绪论材料科学研究 材料制备 材料结构 材料性能 材料计算 材料应用 一 研究对象 微结构与显微成分 微结构与性能的关系 微结构形成的条件与过程机理 二 研究手段 电子显微分析是利用聚焦电子束与试样物质相互作产生各种物理信号，分析试样物质的微区形貌、晶体结构和化学组成等。 方法： 1、透射电镜（TEM） 2、扫描电镜（SEM） 3、电子探针（EMPA） 4、其他* 三 电子显微分析在材料研究中的应用 1、形态分析 2、元素的存在状态分析 3、玻璃的非晶态结构分析 4、材料断面的研究 5、晶界（微观研究） 6、微区结构分析 7、高分子材料的研究 8、………………….等等 四 电子显微分析特点： 1、不破坏样品，如可直接用陶瓷等多晶材料。 2、是一种微区分析方法，了解成分与结构的微区变化。 3、灵敏度高，成像分辨率高，为0.1-0.3nm，能进行nm尺度甚至原子尺度的晶体结构及化学组成分析。 4、各种电子显微分析仪器日益向多功能、综合性发展，可以进行形貌、物相、晶体结构和化学组成等的综合分析。 五 其他分析方法及其局限性举例 光学显微镜 优点： 简单，直观。 局限性：分辨本领低（0.2微米）；只能观察表面形貌；不能做微区成分分析。 化学分析 优点： 简单， 方便。 局限性：只能给出试样的平均成分，不能给出所含元素随位置的分布；不能观察像 。 X射线衍射 优点：精度高；分析样品的最小区域mm数量级； 局限性：平均效应；无法把形貌观察与晶体结构分析结合起来 。 作业1 如何理解电子显微分析技术在材料研究中的重要性 说明：作业、课堂测验及出勤占总成绩的30-40%。 作业有雷同的均没有成绩。 第一章 电子光学基础 第一节 概述 1.1.1 什么是电子光学(electron optics)? 研究电子在电磁场中运动和电子束在电磁场中聚焦、成像、偏转等规律的学科 电子光学是设计电子束管和电子离子仪器的理论基础 电子光学已渗入到无线电电子学、电子显微学、质谱学、电子能谱学、表面物理、高能物理等领域中，凡是涉及到产生、控制和利用带电粒子束的问题，都需要运用电子光学成果。 1.1.2 两种显微镜对比 照明源 聚焦成像 光学显微镜 可见光 玻璃透镜 电子显微镜 电子束 静电或磁透镜 第二节 光学透镜成像 1.2.1 光的折射与光学透镜成像 折射定律: 1.2.2 光的衍射和光学显微镜分辨本领 光的衍射 光波干涉产生衍射效应. 由于衍射效应,点光源成像为具有一定尺寸的中央亮斑及其周围明暗相间的圆环埃利(Airy)斑 Airy斑半径： 光学显微镜的分辨率 样品由许多物点组成,每个物点可看成一个点光源.每个点光源在像面形成各自的Airy斑. 分辨斑点的判据: 两Airy斑中心间距等于第一暗环半径 透镜的分辨本领:样品上可分辨的两个物点间距 提高光学显微镜分辨率的途径: 1、增加介质的折射率； 2、增大物镜孔径半角； 3、采用短波长的照明源★ 。 举例： 采用较大的孔径角来成像，最大的孔径角α=70?-75?， 在物方介质为油的情况下，n≈1.5,其数值孔径 nsin α ≈1.25—1.35 可见光的波长在3900--7600? 结论：光学玻璃透镜分辨本领的理论极限为半波长 2000? 紫外线:200-250 ?, 分辨本领可达100 ? X射线 100-0.5 ?, 还不错,但无法折射聚焦 需要寻找新照明源 有效放大倍数 Δre=0.2 mm; 人眼分辨本领 Δr0=0.2μm; 显微镜分辨本领 M有效= 1000， 实际上最高放大倍数设计为1000-1500 第三节 电磁透镜成像 1.3.1 电子的波性及其波长 德布罗意波粒二象性关系式 ： E=hν, P=h/λ 可得 λ=h/P=h/mv 1/2mv2 = eU 带入数值可得 电子波长为 （?） 考虑到相对论效应修正为 1.3.2 电子透镜 电子透镜: