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第五章 电容式传感器 绪论 5. 1 电容式传感器的工作原理及形式 5.2 电容式传感器的等效电路及特性 5.3 电容式传感器的信号变换电路 5.4 影响电容传感器精度的因素及提高 精度的措施 绪 论1 绪 论2 5.1 电容式传感器的 工作原理及形式 5.1电容式传感器的工作原理及形式1 5.1.1工作原理 5.1电容式传感器的工作原理及形式2 5.1电容式传感器的工作原理及形式3 5.1.2 变极距型电容式传感器 （平行板电容器式） 5.1电容式传感器的工作原理及形式4举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式5举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式6 5.1.3 变极板面积型电容传感器 5.1电容式传感器的工作原理及形式6举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式7举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式85.1.4 变介电常数型电容传感器 5.1电容式传感器的工作原理及形式9举例: 5.1电容式传感器的工作原理及形式10举例: 5.2 电容式传感器的 等效电路及特性 5.2 电容式传感器的等效电路及特性5.2.1 电容式传感器的等效电路 5.