蔡司CSM7003D共聚焦显微镜操作手册修改.doc

Axio CSM 700真实色共聚焦显微镜 非接触式三维测量显微镜 系统介绍: Axio CSM 700真实色共聚焦显微镜以共聚焦光学为基本原理，使用高速线扫描为成像方法，并采用氙灯为真实色光源，是一款能够快速提供工业零部件表面彩色三维轮廓，并且完全不接触测试样品的仪器设备。它具有三大“独门绝技”：共聚焦、线扫描、白光源。 由于采用了共聚焦成像原理，Axio CSM 700将传统光学分辨率提高1.4倍，其XY方向线分辨率达到160 nm。同时，在充分利用共聚焦能提供高度信息的基础上，Axio CSM 700配备了精度高、重复性好的Z轴自动步进装置，最小步进精度达到10nm，这使得高度上亚微米，甚至纳米尺度的非接触式精确测量成为可能。 传统共聚焦采用点扫描成像，速度较慢；而Axio CSM 700采用线扫描，成像速度大大提高，最快的WF模式扫描速度超过100幅/秒，可以说瞬间即可得到测量结果，大大提高工作效率。 同时，Axio CSM 700使用白色光源，能够展现被测试样表面的真实颜色，从而将传统黑白共聚焦扫描显微镜拓展到更广阔的应用领域。 图 1 实验室系统分部图 线扫描共聚焦成像原理 1 1 2 3 4 5 图2 显微镜光路图 氙灯照明器1发出的白光经过线性照明器2变成一组线光源，该组线光源随着2的精确移动从而实现在XY方向的线扫描。扫描光束经过半反半透分光镜3，然后到达物镜最终到达样品表面4，携带样品表面高度信息的光束从样品表面4反射，经过分光镜3以及聚焦棱镜最后到达线性探测器5，该线性探测器5通过与线性照明器2的精确同步，实现仅对焦平面光线的探测，也就是满足共聚焦基本原理的探测。最后，通过精密Z轴自动步进装置移动样品4，得到样品表面不同高度位置的一系列聚焦图像，计算机系统计算得到样品表面三维形貌。 参数指标 共聚焦扫描分辨率 1280 x 1024 像素 水平方向（XY）线分辨率 160nm 高度方向（Z）精度 最小Z步进精度10nm XY测量可重复性（3?） 0.01 高度测量可重复性（?） 0.02 高度测量范围 最大可达15mm，最小0.0 最大样品高度 63mm 最大放大倍数 67500x （150x物镜、16x数码放大条件下） 光源 氙灯，波长400-700nm 共聚焦扫描速度 7.5fps（高速彩色模式）；100fps（WF模式） 减震装置 机架缺省配置减震装置 可测量得到参数 2D: 长度，面积，面积比，直径，周长，形貌，角度，图像校正等。 3D: 高度，粗糙度(据标准DIN EN ISO 4287)，体积，表面积，颗粒度分析等。 其它： 图像拼接、报告输出。 表 1 显微镜参数表 蔡司CSM700 3D共聚焦显微镜简易操作手册 TOC \o 1-4 \u 系统介绍: PAGEREF _Toc337475921 \h 1 线扫描共聚焦成像原理 PAGEREF _Toc337475922 \h 2 参数指标 PAGEREF _Toc337475923 \h 3 1 开机及校准 PAGEREF _Toc337475924 \h 4 1.1 开机 PAGEREF _Toc337475925 \h 4 1.2 时间校准（timing setting） PAGEREF _Toc337475926 \h 5 2 图像扫描与处理 PAGEREF _Toc337475927 \h 8 2.1图像扫描 PAGEREF _Toc337475928 \h 8 2.2图像处理 PAGEREF _Toc337475929 \h 9 2.2.1噪声去除 PAGEREF _Toc337475930 \h 11 2.2.1.1 Noise cut方法 PAGEREF _Toc337475931 \h 11 2.2.1.2 F_Z Noise Cut 方法 PAGEREF _Toc337475932 \h 13 2.2.1.3 利用Noise Cut的具体实例 PAGEREF _Toc337475933 \h 16 3 常用测量介绍 PAGEREF _Toc337475934 \h 20 3.1 高度测量 PAGEREF _Toc337475935 \h 20 3.2 长度及宽度测量 PAGEREF _Toc337475936 \h 21 3.3 粗糙度测量 PAGEREF _Toc337475937 \h 21 4 图像输出与保存 PAGEREF _Toc337475938 \h 22 5 关机及维护 PAGEREF _Toc337475939 \h 23 5