以液相前驱物渗透法掺杂助烧结剂制备透光氧化铝陶瓷.PDF

以液相前驅物滲透法摻雜助燒結劑製備透光氧化鋁陶瓷 謝佳真、黃啟原 國立成功大學資源工程系 摘 要 氧化鋁具有熔點高、化學穩性性佳、機械強度佳等特性，可應用於電子元件、耐火材料等，若透光度佳將可 在穿戴式裝置或儀器視窗上，然而多晶氧化鋁陶瓷的機械性質和透光率與孔隙率、晶粒大小、二次相有關， 若能製備出密度高且微結構均勻的生胚，在燒結後可避免孔洞殘留及差異燒結等。本研究使用注漿成型法製 備生胚，在漿料固含量 40 vol%下，添加聚丙烯酸銨為分散劑改善漿料黏度，所製備出的生胚相對密度 66- 67% ，以液相前驅物滲透法加入0, 250, 500, 1000, 1500, 2000 ppm Mg2+ ，將樣品置於真空氣氛下改變升溫速 率或燒結溫度作比較 ，燒結出的樣品進一步觀察微結構並量測透光率、密度。在添加量為500 ppm Mg2+在燒 結條件為 1700℃、升溫速率為10℃/min 、持溫一小時下的樣品透光率最佳，相對密度達 99.6% ，全透光率 79.35% ，直線透光率14.01% 。 關鍵詞：多晶氧化鋁陶瓷、注漿成型法、液相前驅物滲透法 一、前言 造成漿料黏度大幅度上升，影響生胚均勻度以及強 度，且利用石膏模作為模具所提供的毛細吸引力使 透光陶瓷因可在高溫、高壓、強腐蝕等極端條 漿料中的液體排出，同時可能使大部份的鎂離子流 件下使用，以及其光學、機械性質的應用變得愈來 失，需調整添加的次序。燒結後期如果有氣體殘留 愈受到重視，常見的透光陶瓷: AlON 、YAG 、氧化 [1] 在閉口性孔洞中，將無法達到緻密，因此燒結時能 釔、氧化鋁等 。其中成本較低的氧化鋁為重要的 夠通入易溶於氧化鋁晶格中並且排出的氣體如氫 工業材料之一，常被應用於研磨、耐火材料、醫療 氣、氮氣、氮氫混合氣或以抽真空的方式將氣體排 材料和積體電路基板等。 [5] 1962 年R. L. Coble[2] 以氧化鎂作為添加劑，經 出 ，可避免孔洞殘留達到較高的緻密度。 本研究使用次微米級氧化鋁粉末利用注漿成型 過燒結後得到具透光性質的陶瓷體，自此開始了透 法製備生胚後，助燒結劑利用液相前驅物滲透法加 光多晶氧化鋁的研究領域，相較於其他立方晶系材 [6] 入 ，在真空氣氛下燒結出多晶透光氧化鋁陶瓷， 料，氧化鋁為六方晶系，在不同結晶方方向其折射 進一步觀察微結構以及量測透光率和密度 ，討論三 率不相同，具有雙折射特性，晶粒之間因結晶方向 者之間的關聯。 的差異導致在晶界上增加額外的光散射，造成透光 度較為不佳。 早期多採單晶為主的材料製備方 法，已大量應用在高強度雷射鏡片、紅外線裝置、 二、實驗方法 穿戴式電子裝置上，其製程技術及設備成本門檻較 2.1 配製漿料與生胚製備 高、生產週期長不易量產和成品加工切割困難，然 本研究採用商