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PAGE PAGE 4 智能型表面粗糙度在线检测系统的研制 可行性研究报告 一、立项的背景和意义 表面粗糙度是机械加工中描述表面微观几何形貌最常用的参数，是精密计量、机器和仪器零件加工的一项重要指标，它反映的是机械零件表面的微观几何形状误差，对工件的使用寿命和工作性能有着直接而重要的影响，在机械、电子、光学领域中起着重要作用。在工业中准确、完整地测量表面粗糙度是保证产品质量的重要条件。目前，工件表面粗糙度仍然采用离线测量的方法，由于不能及时发现加工过程中表面粗糙度的恶化，经常会导致废品出现，这已成为阻碍机械加工高度自动化、智能化的瓶颈。合理的评价表面粗糙度，对于产品质量的评定、机械性能的分析和加工条件的改善都具有重要的意义，研究并测试表面粗糙度是生产加工领域一个很重要的研究方向。对工件表面粗糙度进行客观、科学的检测和评定，已成为加工领域中的一个重要课题。 工件表面粗糙度的测量，主要采用基于接触式的触针法和基于非接触式的光学方法。触针法是将一个很尖的触针垂直安置在被测表面上作横向移动，触针随着被测表面轮廓形状作垂直起伏运动，可得到工作表面粗糙度参数值，这种仪器存在着无法克服的缺点：（1）不适于那些易磨损刚性强度高的表面；（2）所测出的表面轮廓信息及触针圆心的移动轨迹，理论上只有当触针的尖端圆半径等于零时，触针的运动才能正确的反映被测表面的实际轮廓曲线，无法达到实时在线的测量；（