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面向21世纪的纳米电子学

面向21世纪昀纳米电子学 彭英才“,2,赵新为3,4傅广生伯 (1.河北大学a.电子信息工程学院;b物理科学与技术学院,河北保定071002 2.中国科学院半导体研究所半导体材料科学重点实验室,北京100083; 3.日本东京理科大学物理系,东京126—8601; 4.中国科学院微电子研究所纳米材料与器件中心,北京100029) 摘要:评论了纳米电子学的沿革路程,介绍了纳米电子学的研究内容,并预测了它的发展趋势。 进而指出.纳米电子学的崛起与发展将会对21世纪的量子计算机、量子通信以及量子信息处理 等产生革命性的影响。 关键词:纳米电子学;发展路径;量子化效应;纳米加_工技术;纳米量子器件 21 Nanoelectronics Century-Oriented PENG ZHAOXin·wei3’4FU Ying-cai‘8,2 Guaog-sheng“ and Soneeand (1.s.Coll89e矿E赫ctronwInformationalEngineering;h眺萨ofPhysics Technolo疗,llebeiUnivers彬 SemicondttctorMateridz Labormoryof and&ieMe,InstituteofScmiconductors, &一峨“g071002.China;ZKey Chlnese ofSciences,Beijiog100083,Ch/na;3.Departmer.tofPhysics,TokyoUnieers毋ofSciences, Academy Nano-Moleriolsand Tokyo126-8601,。却曲;4.Loborc蚰ryof Nww-Deviees,InstituteofMieroeiectronics, Chinese AcademyofSciences,&可‘昭100029.China) coumeof andthecontentswerereviewedandintro— Abstract:Thechange.thedevelopment is out the ofthe WSSalso that development duced,thedevelopingtendency predicated.Itpointed for communiea- nanoelectronicswillcreatedrevolutionaleffectthe quantumcomputers,quantum tionsand informational quantum process,etc. words:nanoeleetronies;developmentroutes;quantum Key tumdevices 发展水平和速度而言,还是从涉

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