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电子探针x射线显微分析 Electron Probe Microanalysis 4. 电子探针x射线显微分析 电子探针仪（EPMA）是一种微区成分分析仪器。 采用被聚焦成小于1 的高速电子束轰击样品表面，利用电子束与样品相互作用激发出的特征x射线，测量其λ和Ι，确定微区的定性、定量的化学成分。 SEM-EPMA组合型仪器，具有扫描放大成像和微区成分分析两方面功能。 4.1 工作原理 具有足够能量的细电子束轰击试样表面，激发特征x射线，其波长为： λ与样品材料的Z有关，测出λ ，即可确定相应元素的Z 。 工作原理 某种元素的特征x射线强度与该元素在样品中的浓度成比例，测出x射线I，就可计算出该元素的相对含量。 4.2 构造 主要有柱体（镜筒）、x射线谱仪、纪录显示系统。 镜筒包括电子光学系统、样品室、OM等。 EPMA与TEM大体相似，增加了检测特征x射线λ和I的x射线谱仪——波谱仪、能谱仪。 X-ray 谱仪 （1）波长分散谱仪 WDS Wavelength Dispersive Spectrometer 通过衍射分光原理，测量x射线的λ分布及I。 已知d的晶体（分光晶体），反射不同的x射线，在特定位置检测。 工作原理 由布拉格定律，从试样中发出的特征X射线，经一定晶面间距的晶体分光，波长不同的特征X射线将有不同的衍射角。 连续改变?，在与X射线入射