分析电子显微学第6节高分辨跟高空间分析.pdf

第六章高分辨和高空间分析电子显微术 6.1高分辨电子显微术 6.1.1 傅里叶变换与卷积理论 6.1.2 高分辨像形成过程描述的两个重要函数 6.1.3 弱相位体高分辨像的直接解释 6.1.4 高分辨像的多层法计算机模拟 6.1.5 高分辨像显示位错特征的方法 6.1.6 用高分辨像确定未知晶体结构的方法 6.2 会聚束电子衍射 6.2.1 各种衍射方式和特点的比较 6.2.2 会聚束电子衍射花样形成和特征 6.2.3 HOLZ线的指标化 6.2.4 会聚束电子衍射的应用举例 第六章高分辨和高空间分析电子显微术 6.3 薄膜样品的X射线能谱分析 6.3.1 X射线固体探测器的原理 6.3.2 薄样品成分定量分析原理及特点 6.4 电子能量损失谱 （EELS） 6.4.1 电子能量损失谱仪 6.4.2 电子能量损失谱 6.4.3 电子过滤成像和衍射 6.5 分析电子显微学进展 6.5.1 负球差系数成像技术 6.5.2 定量扫描透射电子显微术 6.5.3 电子全息术 第六章高分辨和高空间分析电子显微术 本章要点 1. 衍衬成像的最高分辨率为1.5nm,而基于相位衬度的高分辨像，其分辨率 可达0.15nm 。 2. 高分辨像的形成过程可用傅里叶变换和卷积理论来描述，其中透射函 数和衬度传递函数是最重要的概念。 3. 对于晶体结构和缺陷的研究，利用薄样品（区域）的弱相位体高分辨 像是最为常用的，它不需要复杂的计算机模拟。 4. 会聚束电子衍射由于弹性散射的参与和小的辐照区域，花样中的亮、 暗线对衬度远高于菊池花样，因此比菊池花样有更广的应用。会聚束 电子衍射最重要的应用是晶体结构和对称性的测定。 5. X射线能谱和电子能量损失谱都用于成分分析，前者适合于重元素的分 析，而后者适合于轻元素的分析。由于电子能量损失是电子一次散射事 件的结果，因此它还能获得样品能带结构、元素化学价态和近邻原子间 距等重要信息。 6.1 高分辨电子显微术 分析电子显微镜具有如下特点： （1）具有传统TEM特点：选区电子衍射、衍衬成像、高分辨结构 像； （2 ）纳米衍射和会聚束衍射，获得纳米尺度区域的三维晶体学信 息； （3 ）采用X射线能谱仪或电子能量损失谱仪可对纳米尺度的微区进 行元素的定性和定量分析； （4 ）若配有扫描电子显微镜功能，可使电子束对样品逐点扫描，可 观察扫描透射像，二次电子像、背散射电子像，采用X射线能谱仪或电 子能量损失谱仪可获元素的线分布和面分布图； （5 ）对真空度要求高，尤其用场发射电子枪(FEG) 。 6.1 高分辨电子显微术 高分辨电子显微术(HREM 或HRTEM)是一种基于相位衬度原理的成 像技术。入射电子束穿过很薄的晶体试样，被散射的电子在物镜的背焦 面处形成携带晶体结构的衍射花样，随后衍射花样中的透射束和衍射束 的干涉在物镜的像平面处重建晶体点阵的像。这样两个过程对应着数学 上的傅里叶变换和逆变换。 6.1.1 傅里叶变换与卷积理论 • 一、傅里叶变换 由电子枪发射的电子，在真空中行走时可视为波矢k(2 π/ λ) 的平面 波exp(ik·r) ，当其入射到试样上将发生散射，试样对平面波的作用以q(x,y) 函数表示，如图6.1所示。 从试样上的(x,y)点到距离r 的(s,t)点的散射振幅可表示为 exp(ik ⋅r ) G(s, t) c∫∫q(x , y ) dxdy （6.1 ） r 式中c为常数。 图6.1 电子散射示意图 6.1.1 傅里叶变换与卷积理论 由于Rx ,y , 因此可作如下近似处理：