压电薄膜地性能、制备与应用.docVIP

PAGE PAGE 9 压电薄膜材料的性能、制备与应用 摘要：压电材料是实现机械能与电能相互转换的功能材料，现在得到越来越多的应用。本文介绍了压电薄膜的性能，包括介电常数、体积电阻率、损耗角正切、击穿强度、体声波性能，表声波性能五个方面。对于压电膜材料的制备方法主要介绍了传统的真空镀膜方法，包括真空蒸发镀膜、溅射镀膜、化学气相沉积镀膜等制备厚度在0～18μm范围内薄膜材料的方法；新型溶胶凝胶法、水热法、电泳沉积法是制备10～100μm的压电厚膜材料新型主要方法。在压电薄膜的应用方面主要介绍了它在声表面波器件和压电薄膜体波膜中的应用。最后提出了，未来压电薄膜的制备技术会向着高效率、低成本、高质量的方向发展，而CVD法由于具有突出的优点将是未来制备压电薄膜的最主要的方法。 关键词：压电薄膜 压电性能 CVD 压电薄膜体波膜 1 前言 某些介质在机械力作用下发生电极化和电极化的变化，这样的性质称为压电效应[2]。电极化的改变导致介质与极化方向垂直的两端面出现了等量反号的束缚电荷变化，这是由于压力造成了电荷的变化，这就是压电性的由来。具有这一性质的材料称为压电材料。压电效应还有逆压电效应。逆压电效应是指：当在材料的一定方向上施加外部电场时，该材料的对应方向上产生内应力和应变现象。其应力和应变同所施的电场强度成正比。逆压电效应又称为电致变形现象，压电效应又称被称为正