硅微谐振式加速度计的实现及性能测试.PDF

光学 精密工程 第 卷 第 期 １８ １２ 　 Ｖｏｌ．１８ Ｎｏ．１２ 　 　 　　 　　　　 　 Ｏ ｔｉｃｓａｎｄＰｒｅｃｉｓｉｏｎＥｎｉｎｅｅｒｉｎ 　　　 　　　 　 　 ｐ ｇ ｇ 年 月 ２０１０ １２ Ｄｅｃ．２０１０ 　 　 　 　 文章编号 （ ） １００４９２４Ｘ２０１０１２２５８３０７ 　 硅微谐振式加速度计的实现及性能测试 石 然，裘安萍，苏 岩 　 　 （南京理工大学 ＭＥＭＳ惯性技术研究中心，江苏 南京 ２１００９４） 摘要：为了提高硅微谐振式加速度计性能，从一种基于 （ ）工艺的硅微谐振式加速度计 ＤＤＳＯＧ Ｄｅｅ Ｄｒ ＳｉｌｉｃｏｎｏｎＧｌａｓｓ ｐ ｙ 样机入手，介绍了加速度计的结构、加工方法和接口电路。该谐振式加速度计结构包括敏感质量块、谐振器和微杠杆 ３ 部分，采用差动结构来减小共模误差的影响。接口电路中采用了自动增益控制电路来稳定谐振器的振幅，成功实现了谐 振器的闭环自激振荡和频率检测。分析了谐振式加速度计频率输出与加速度输入的关系，测试了硅微谐振式加速度计 样机性能，结果为量程 ，标度因数 ／，零偏稳定性 ，零偏重复性 ，阈值 。文章最后提 ±５０犵 １４３Ｈｚ犵 １．２ｍ犵 ０．８８ｍ犵 １７０μ犵 出， 工艺中采用的玻璃材料和硅材料温度系数不同，影响了加速度计的温度特性，因此需要进步一改进加工工 ＤＤＳＯＧ 艺。 关 键 词：硅微谐振式加速度计；谐振器；差动结构； ＤＤＳＯＧ 　 　 中图分类号： 文献标识码： ： ／ ＴＨ８２４．４ Ａ 犱狅犻１０．３７８８ＯＰＥ２５８３ 　　 　　 犐犿 犾犲犿犲狀狋犪狋犻狅狀犪狀犱犲狓犲狉犻犿犲狀狋狊狅犳犿犻犮狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾 狆 狆 犱犻犳犳犲狉犲狀狋犻犪犾狊犻犾犻犮狅狀狉犲狊狅狀犪狀狋犪犮犮犲犾犲狉狅犿犲狋犲狉 ， ， ＳＨＩＲａｎ ＱＩＵＡｎｉｎ ＳＵＹａｎ ｐ ｇ （ ， 犕犈犕犛犐狀犲狉狋犻犪犾犜犲犮犺狀狅犾狅 犚犲狊犲犪狉犮犺犆犲狀狋犲狉 犖犪狀犻狀 犝狀犻狏犲狉狊犻狋 狅 犵狔