国家标准《硅体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》.docVIP

PAGE \* MERGEFORMAT 2 国家标准《硅晶体中间隙氧含量的红外吸收测量方法》 （预审稿）编制说明 工作简况 立项目的及意义 半导体材料（尤其是集成电路工业）是电子信息产业的基础和核心，是国民经济现代化与信息化建设的先导与支柱产业。半导体硅单晶材料则是半导体工业的最重要的主体功能材料，至今全球信息产业使用的硅材料仍占半导体材料总量的95％以上，而且国际集成电路（IC）芯片及各类半导体器件的95％以上也是用硅片制造的。高纯硅材料产业是重要的