洁净室空调的设计CH7.pdfVIP

第 章潔淨室之空調系統設計與能源消耗分析 7 7.1 前言 因為電子工業對於潔淨室的需求，再加上潔淨室機器所散發大量的熱量， 需要處理大量的外氣，且全年24 小時都再運作的情形下，其所造成的耗能是相 當大的 在此我們就以幾種不同的空調箱及其不同的搭配種類來加以討論 。 。 7.2 應用計算實例 某300mm DRAM 廠潔淨室實際設計參數作為案例分析如下 諸元 31℃ DB, RH= 80% 外氣條件 23℃ DB, RH= 45% 室內條件 2 11,182m 潔淨室面積 3.5m 潔淨室高度 500 作業人數 6,543,000CMH 循環量 498,120CMH 熱排氣 30,540CMH 酸排氣 33,5400CMH 鹼排氣 59,880CMH 有機氣體排氣 7,367KW 製程設備負載 本廠使用的空調系統構型為抽風式外氣空調箱 風機過濾器 以及冷 (MAU)、 (FFU) 卻乾盤管 之搭配方式，其中每部外氣空調箱容量為 共 (DCC) 100,000CMH 10 台，靜壓為 ，冷卻盤管採高低溫冰水盤管連續冷 1,300Pa(η = 0.8), η = 0.95) / fan motor 卻方式； 平均面風速 ，風量為 ，靜壓為 FFU 0.35m/s 900CMH 100 Pa (η = 0.3, fan ，配合循環量的大小共採用 台 η = 0.95) 7270 。 motor