2012厂务技术论坛报告利用统计管理手法达成UPW品质稳定与节能.PDF

2012廠務技術論壇報告 利用統計管理手法 達成UPW品質穩定與節能操作之最適化探討 報告人：吳煜文 團隊成員：陳文琳、黃炳森、黃耀慧 Macronix Proprietary 簡報大綱 一. 公司簡介 二. 前言 三. SPC水質管理手法 四. 設備運轉最適化操作案例分享 案例一. UPW 2B3T樹脂塔最適化操作 案例二. UPW TOC UV 最適化操作。 五. SPC品質管理推行後成效 六. 總結 七. Q A 2 Macronix Proprietary 一.公司簡介 公司簡介: 旺宏電子股份有限公司 旺宏電子股份有限公司 擁有三座晶圓廠 員工人數4800人 非揮發性記憶體整合元件全球領導廠商 唯讀記憶體生產製造公司全球第一大 NAND型快閃記憶體全球第一大 NOR型快閃記憶體華人世界第一大 董事長吳敏求先生 2011年榮登台灣百大品牌 總部大樓 旺宏綠色電子產品 3 Macronix Proprietary 一.公司簡介 旺宏電子品質承諾及環保政策 品質承諾:持續改善品質管理系統，提供顧客最佳產品 環保政策:符合國際綠色產品趨勢、有效應用整體資源及珍惜資源 榮耀與肯定 第十三屆全國標準化前瞻貢獻獎 ”節能服務團”績效卓越獎 天下雜誌【企業公民獎】 經濟部節約能源績優選拔-優等獎 水利署節約用水績優單位 科管局低碳企業績優獎選拔-特優獎 4 Macronix Proprietary 二. 前言 前提: 半導體製程技術精進，水質穩定度的要求日益嚴格。 UPW水質管理模式導入SPC統計分析管理手法。 SPC統計分析管理手法: 高穩定度的供應品質 精緻化的監控與管理 設備運轉最適化操作的把關者 5 Macronix Proprietary 三. SPC水質管理手法 Spec. Control 品質管理 管制界限制定基準: 參考外部資訊制定。 缺乏統計科學分析能力。 僅以警報進行管理