微纳米级晶片采样解析设备.pdf

采样分析设备和配套部件 产品简介 无锡纳斯微纳检测科技有限公司引进日本 NAS 技研的世界领先技术，帮助半导体晶圆和器件、太阳能硅 板、液晶产品厂家提高产品品质和良率，降低生产成本，提供全套产品和服务的解决方案。        通过对工艺过程中晶圆、芯片、硅板、液晶产品表面金属离子和其它杂质离子的采样分析，及时发现和 纠正工艺过程中的问题，控制和提高产品品质和良率。以采样分析数据为依据，及早发现生产线上的不良品， 避免不必要的后道工序引起的材料和时间的浪费，降低生产成本。   无锡纳斯微纳检测科技有限公司 地址：中国江苏无锡马山梅梁西路 88 号 邮编：214092 电话：0510 手机 Email: yeweiqing@ 网站：   1 尊敬的客户 亲水面采样分析设备SC-8000 性能 首先，衷心感谢诸位客户使用本公司的产品，希望以后能继续为诸位客户提供更好的产品和服务。 此次，本公司隆重推出采样分析设备 SC-8000 。这是一款在技术上有根本性突破的新产品。它不仅可以 进行传统的憎水面采样分析，而且也实现了亲水面的采样分析。 亲水面采样分析设备具有更为广泛的用途。我们深信广大用户可以在广阔的应用领域中发挥它的重要作 用。 由于亲水面采样分析成为可能，在酸性晶圆上回收金属污染污物时，即使晶圆表面不是 100%的憎水， 也就是晶圆表面部分是亲水面的情况下，也可以实现金属污染物的回收。这些晶圆包括在工艺处理过程中无 论如何也做不到完全憎水面的晶圆，以及因材质的缘故不会成为憎水面的晶圆。另外，使用气相分解，即使 对氧化膜去除不干净的晶圆，也可以进行采样分析。 实现对亲水面采样分析，就可以对有表面氧化膜的晶圆进行采样分析，也就是对晶圆氧化膜实现厚度方 向的采样分析。 实现亲水面采样分析也使纯水采集离子成为可能，和现行的浸泡采样分析（晶圆浸泡在装有纯水尼龙袋 中的采样分析方法）不同。亲水面采样分析与金属离子方法相似，同样采用液滴（几百微升大小）进行，但 是和浸泡采样分析相比，采样分析可提高精度二位左右。 用亲水面采样分析新技术可以采集有机物。无论采样分析液是酸、还是纯水、或是酒精类，都可以用来 实现对有机物的采样分析。 亲水面采样分析新技术用途十分广泛，现在正在积极开拓它的其他用途。 据此，本公司隆重向诸位客户推荐配备有亲水面采样分析新技术的设备 SC-8000 。 亲水面采样分析设备 SC-8000 敬谢   2 1. 半自动采样分析设备 SC系列 SC系列性能 共通点：实验室用 SC 采样分析系列设备，以操作简单、安全和精确为设计理念，操作员无需特殊技能，就 能轻松完成 VPD 后晶圆采样分析操作。本设备可设定晶圆尺寸、采样分析模式、切向速度和送程节距参数。 1) SC-3000 ○通过与计算机联机，可供追 加多种采样分析模式，对晶 圆进行采样分析操作。 ○除了晶圆实装外，从清洗•采 样液供给到回收全部实现自 动化操作。与 SC-2000 相比， 进一步减少了手动操作引起 的污染。 ○本设备实用价值高，郑重向 客户推荐引进。 SC-3000 采样分析设备计算机联机操作图 2) SC-4000 ○在 SC-3000 上装备 4 个采样分析台，可以对一枚晶圆同时进行 4 点自动采样分析。 ○采样分析效率改善很大。 3) S