GB/T 25915.9-2018洁净室及相关受控环境　第9部分：按粒子浓度划分表面洁净度等级.pdf

ICS13.040.35 C70 中华人 民共和 国国家标准 / — / : GBT25915.9 2018ISO14644-92012 洁净室及相关受控环境 : 第 部分 按粒子浓度划分表面洁净度等级 9 — Cleanroomsandassociatedcontrolledenvironments : Part9Classificationofsurfacecleanlinessb articleconcentration yp ( : , ) ISO14644-92012IDT 2018-06-07发布 2018-10-01实施 国家市场监督管理总局 发 布 中国国家标准化管理委员会 / — / : GBT25915.9 2018ISO14644-92012 目 次 前言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅲ 引言 ………………………………………………………………………………………………………… Ⅳ 1 范围 ……………………………………………………………………………………………………… 1 2 规范性引用文件 ………………………………………………………………………………………… 1 3 术语和定义 ……………………………………………………………………………………………… 1 4 缩略语 …………………………………………………………………………………………………… 2 5 分级体系 ………………………………………………………………………………………………… 2 6 符合性的证实 …………………………………………………………………………………………… 5 ( ) ………………………………………………………………………… 附录 资料性附录 表面特性 A 7 ( ) …………………………………………………………… 附录 资料性附录 特定粒径范围描述符 B 10 ( ) ………………………………………………………… 附录 资料性附录 影响 分级的参数 C SCP 12 ( ) ……………………………………… 附录 资料性附录 按