硅烷法制备多晶硅的技术新进展-索比光伏网.PDF

硅烷法制备多晶硅的技术新进展 王春龙 无锡市金亿达新能源有限公司 2008年6月6 日 1 • 今天应大会邀请，我能来到这里，向各 位来自光伏研究领域的专家汇报硅烷法制 备多晶硅技术的一点心得，深感荣幸。旨 在抛砖引玉，请各位业内前辈专家、能人 志士能关心硅烷法多晶硅技术的成长，并 且能帮助解决一些尚需完善的问题。 2 • 我开始对多晶硅提纯技术产生兴趣，还要 追溯到03年上半年在上海交大的一次晚会 上。于是从2003年6月18 日开始，历时四年 多，行程27万余公里。期间，我拜访了国 内曾经用四氯化硅、三氯氢硅生产多晶硅 的专家、工程技术人员和一线技术工人， 还请教了曾经参与多晶硅技术的研究人员 和高等院校涉及该专业的教