微纳中心-浙江大学量子信息交叉中心.PDF

浙江大学微纳中心 程志渊 浙江大学微纳中心主任 信电学院微纳电子所所长 浙江大学微纳中心  6个学院/学科：  信电，光电，电气，物理，材料，机械  超净间面积：1200平方米  现有实验室：400平方米，用户：超过100个  新建实验室：800平方米 完整的微纳加工能力：各种热工艺，深亚微米光刻、 湿法/干法刻蚀、半导体/金属薄膜沉积等 集成电路、微纳电子器件、微机电系统、功率器件及 电能变换、量子通讯、柔性/可穿戴电子、生物芯片、 太阳能光伏、石墨烯及二维材料器件等 设计效果图 现有超净间：400平米 • 1.5微米图型加工能力 • 金属薄膜沉积、氧化物薄膜沉积、硅 基薄膜沉积和刻蚀， • 但缺乏高洁净度工艺，1微米以下图 型加工能力，化合物半导体，非金属 薄膜加工能力等。 现有设备工艺能力 工艺定位 现有设备  准入衬底类型：