12压电振子的振动模式6ghkfchx.pptVIP

wangcl@sdu.edu.cn * 等效电路分析 低频电场 谐振低频 反谐振低频 自由介电常数 短路弹性柔顺常数 机电耦合系数 压电常数 等 wangcl@sdu.edu.cn * ?-石英（点群为32）的压电常数矩阵 x切?-石英晶片可能的振动模式。x面为电极面。 x方向的纵向（厚度）伸缩振动； y方向的横向伸缩振动 yz面切变振动。 wangcl@sdu.edu.cn * 压电陶瓷的压电常数矩阵 压电陶瓷圆片可能的振动模式。z面为电极面。 x、y方向的纵向伸缩振动； z方向的厚度伸缩振动。 wangcl@sdu.edu.cn * 寄生振动 根据工作频率（谐振频率）设计的压电晶片的几何尺寸。 由于在不同方向上的压电常数不为零（存在压电性），同一激励电场在同一压电晶片会产生多个振动模式。 这样在工作频率附近所产生的振动模式就是寄生振动。 wangcl@sdu.edu.cn * 开槽技术 通过晶片的几何尺寸设计，可以有效地降低寄生振动的产生。 另外的方法是开槽技术。 不同的振动模式所对应的边界条件不相同。 通过在晶片边缘开槽，可以有效地抑制寄生振动。 wangcl@sdu.edu.cn * 薄长片压电振子的长度伸缩振动 薄长片压电振子的谐振频率fr为： 薄长片压电振子长度 长度越长，弹性柔顺系数越大，谐振频率越低。 wangcl@sdu.edu.cn * 已知薄长片压电振子的等效导纳G（或等效阻抗Z）为 wangcl@sdu.edu.cn * 当外加电场的频率很低时，压电振子的等效导纳为： 可见频率很低时，压电振子在电路中只起着一个电容为Clow的电容器的作用，它的阻抗为Z=1/(jClow?)，在此情况下的压电振子的等效电路是如图5-3所示纯电容电路。 wangcl@sdu.edu.cn * 频率很低时压电振子的等效电路 图5-3 wangcl@sdu.edu.cn * 串联谐振 Series resonant 等效阻抗Z|fr=0，电流I3=?（实际上I3=极大值）。这种谐振现象与无线电中的LC 串联谐振现象相同。因为LC 串联谐振时，电路中的阻抗=0，电流=?。 当外加电场的频率等于压电振子的谐振频率fr时，压电振子的等效导纳为： wangcl@sdu.edu.cn * 所以可以认为谐振时，压电振子在电路中起着一个串联的电容C1和电感L1的作用。在此情况下，压电振子的等效电路如图5-4所示的串联电路。压电振子的谐振频率fr就等于LC串联电路中的谐振频率fs。 wangcl@sdu.edu.cn * 谐振时压电振子的等效电路 图 5-4 wangcl@sdu.edu.cn * 并联谐振 parallel resonant 当外加电场的频率等于压电振子的反谐振频率fa时，压电振子的等效导纳为： 等效阻抗Z|fa=?，电流I3=0（实际上为电流极小）。这种谐振现象与无线电中的LC 并联谐振现象相同。因为LC 并联谐振时，电路中的阻抗无限大，电流为零。 wangcl@sdu.edu.cn * 所以可以认为反谐振时，压电振子在电路中起着一个由电容C0和电感L1以及电容C1相并联的作用。在此情况下，压电振子的等效电路如图5-5所示的LC并联电路。压电振子的反谐振频率fa就等于LC并联电路中的谐振频率fp。 wangcl@sdu.edu.cn * 反谐振时压电振子的等效电路 图 5-5 wangcl@sdu.edu.cn * 压电振子等效电路中的C0、L1和C1与压电常数、介电常数和弹性常数之间的关系 一方面，压电振子的振动特性是由压电振子的内部矛盾来解决的，即由压电振子的压电常数、介电常数和弹性常数来决定的。 另一方面，压电振子的振动特性又可用LC 串联电路和LC 并联电路反映出来。因此等效电路中的C0、L1和C1与压电常数、介电常数和弹性常数之间存在一定的关联。 wangcl@sdu.edu.cn * 这个联系可通过压电振子的等效阻抗（或等效导纳）与LC电路中的阻抗加以比较而得到。 已知压电振子的等效导纳为： wangcl@sdu.edu.cn * 其中： 为分路电容 为分路阻抗 为动态阻抗 wangcl@sdu.edu.cn * 使动态阻抗Z1在谐振频率附近展开，因为 wangcl@sdu.edu.cn * 故得： （5-31） wangcl@sdu.edu.cn * 使LC串联阻抗在串联谐振频率 附近展开得： （5-32） wangcl@sdu.edu.cn * 压电振子 LC串联电路 wangcl@sdu.edu.cn * 比较（5-31）式与（5-32）式可以看出，在谐振频率附近，取一级近似可得动态阻抗等效于（集总参数）LC串联阻抗，其中联系为： （5-34） （5-33） wangcl@sdu.edu.cn