激光干涉检测方法.docVIP

FANUC、OKUMA机床的激光干涉仪检测方法 一、光的相干性 二、激光干涉法测距原理 三、FANUC螺补参数的设定 四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法 五、FANUC的检测用程式 六、OKUMA螺补参数的设定 七、OKUMA检测程式 八、检测值输入的方法 一、光的相干性 相長性干涉 ??當兩個波長相同的光束波形同步射出時，其波峰位置會如下圖 2 一般重合，固稱為“相長性干涉”。 在相長性干涉的情況下，輸出波的振幅等於兩個輸入波的振幅之和。 ?相消性干涉 ?????當兩個相干光束波形以 180° 的相位差異步射出時，一個輸入光束的波峰位置會如下圖 3 一般與另一個輸入光束的波谷重合，固稱為“相消性干涉”。 在相消性干涉的情況下，兩個輸入波會互相抵消而產生暗淡的光 二、激光干涉法测距原理 图片： 根据光的干涉原理，两列具有固定相位差，而且有相同频率、相同的振动方向或振动方向之间夹角很小的光相互交叠，将会产生干涉现象，如图所示。由激光器发射的激光经分光镜A分成反射光束S1和透射光束S2。两光束分别由固定反射镜M1和可动反射镜M2反射回来，两者在分光镜处汇合成相干光束。若两列光S1和S2的路程差为Nλ(λ为波长，N为零或正整数)，实际合成光的振幅是两个分振幅之和，光强最大。当S1和S2的路程差为λ/2(或半波长的奇数倍)时，合成光的振幅和为零，此时光强最小。 激光干涉仪就是利用这一原理使激光束产生明暗相间的干涉条纹，由光电转换元件接收并转换为电信号，经处理后由计数器计数，从而实现对位移量的检测。由于激光的波长极短，特别是激光的单色性好，其波长值很准确。所以利用干涉法测距的分辨率至少为λ/2，利用现代电子技术还可测定0.01个光干涉条纹。因此，用激光干涉法测距的精度极高。 激光干涉仪由激光管、稳频器、光学干涉部分、光电接受元件、计数器和数字显示器组成 三、FANUC螺补参数的设定 FANUC 0i、16M、18M 3620 各轴参考点的补偿号 3621 负方向的最小补偿点号 3622 正方向的最大补偿点号 3623 螺补量比率 3624 螺补间隔 1851 背隙补偿  FANUC 15M 5420 各轴参考点的补偿号 5421 负方向的最小补偿点号 5422 正方向的最大补偿点号 5423 螺补量比率 5424 螺补间隔 1851 背隙补偿 FANUC 0M 11/0.1 螺补倍率 712-715 螺补间隔 756-759 螺补间隔 1000, 2000 3000, 4000 补偿基准点 1001-1128 2001-2128 3001-3128 4001-4128 补偿值 535-538 背隙补偿 注：P11.1,P11.0组合形式： 00 X1 01 X2 10 X3 11 X4 四、关于FANUC系统正负方向补偿号的计算方法 例子: X轴行程：-1000mm－0mm，参考点为0ｍｍ，基准点编号为20，间隔距离为 负方向补偿号＝基准编号－（负方向行程／间隔）＋1 　　　　　　＝20－1000／100＋1＝11 正方向补偿号＝基准编号＋（正方向行程／间隔）＋1 　　　　　　＝20＋0／100＋1＝21 五、FANUC检测用程式 FANUC检测用的宏程式有A类宏程序和B类宏程序两种。FANUC 0i,15M，18M采用B类宏程序，0M采用A类宏程序。 使用B类宏程序有两种编程方法。 例子：行程为1000mm,间隔为100mm,采用双方向编程。 程式1如下： G54G90G X-1 G04X3 #100=0 N123 X#100 G04X5 #100=#100+100 IF [#100 LE 1000] GOTO 123 X1005 G04X3 #101=1000 N234 X#101 G04X5 #101=#101-100 IF [#101 GE 0] GOTO 234 M00 M30 注:GE≥ LE≤ GT LT EQ= NE≠ 程式2如下: G54G90G X-1 G04X3 #100=0 WHILE [#100LE1000] DO 1 X#100 G04X5 #100=#100+100 END 1 X1005 G04X3 #101=1000 WHILE [#100GE0] DO 2 X#101 G04X5 #101=#101-100 END 2 M00 M30 使用A类宏程序 程式如下: G54G90G X-1 G04X3 G65 H01 P#100 Q0; (#100=0) /G65 H01 P#i Q#j /代码:H01 功能:定义,替换,赋值 定义:#i=#j N123 X#100 G04X5 G65 H02 P#100 Q#100 R100; (