李萨茹扫描式微型激光投影显示技术研究1shclsll.docx

学校代码10699分类号TN27密级学号2009100334 题目 李萨茹扫描式 微型激光投影显示技术研究 作者 刘耀波 学科、专业 测试计量技术及仪器 指导教师 苑 伟 政 申请学位日期 2014 年 6 月  西北工业大学 博士学位论文 （学位研究生） 题目： 李萨茹扫描式 微型激光投影显示技术研究 作 者： 刘 耀 波 学科专业：测试计量技术及仪器 指导教师： 苑 伟 政 2014 年 6 月  Miniaturization of laser projection display based on lissajous scan pattern By Liu Yao-bo Under the Supervision of Professor YuanWei-zheng A Dissertation Submitted to Northwestern Polytechnical University In partial fulfillment of the requirement For the degree of Doctor of Instrumentation Science and Technology Xi’an P. R. China June2014 摘 要 由于充分结合了激光技术与 MEMS 技术各自的优点，微型激光投影显示技术具有 色彩表现能力强、亮度高、寿命长、体积小、重量轻及功耗低等特点，是未来投影显示 技术的发展趋势之一。根据投影方式的不同，目前的微型激光投影显示技术主要分为面 阵空间光调制方式和扫描方式。相比于前者，后者的系统结构更为简单和紧凑，非常适 用于开发便携性强的微型投影设备或者集成于其它电子设备，已经逐渐成为了微型激光 投影显示技术的研究热点。 本文以李萨茹扫描式微型激光投影显示技术为研究对象，深入研究了此种投影技术 的投影理论，并以 QVGA 级分辨率和刷新率高于 30 Hz 为目标设计了其核心元件—— 谐振式扫描镜的器件结构，同时采用了 SOI 技术完成了样件制作。在此基础上，以扫描 镜样件为基础研究了此种投影显示技术的实现方案。主要研究工作如下： 从李萨茹扫描方式出发，详细分析了李萨茹扫描式激光投影显示技术的工作原理， 系统研究了该技术中像素点的定义、投影刷新率及分辨率的计算、李萨茹扫描频率的选 择等关键问题；为了将传统图像的空间点阵存储方式转换为李萨茹扫描的时间点阵存储 方式，提出了一种图像编码算法，并使用 Matlab 实现了该算法在 QVGA 级分辨率时的 图像仿真及验证。 为了研制出符合 QVGA 级分辨率要求的谐振式扫描镜，从静电垂直梳齿驱动器出 发，设计了一种静电驱动的二维谐振式扫描镜，并通过研究器件各结构参数对扫描镜工 作频率的影响进而确定了其各项结构尺寸；为了进一步了解设计扫描镜的光、机、电性 能，详细分析了其静电特性、非线性动力学特性、冲击特性、扭转特性、动态变形以及 光学特性等一系列重要特性。 为了制作出设计的谐振式扫描镜，根据其结构特点对扫描镜的版图进行了设计，并 结合现有设备对其 SOI 加工工艺进行了研究、分析及优化，详细讨论了器件工艺流程中 的关键加工工艺；为了全面及系统地评价制作出的扫描镜样件，采用了不同的方法和设 备对其各项性能进行了测试。 采用制作出的扫描镜样件为核心元件，研究了李萨茹扫描式微型激光投影显示技术 的实现方案，对其硬件和软件部分进行了详细的分析与设计；为了增大投影图像的尺寸， 设计了适用于激光投影系统的光学角放大镜头。最后，搭建了激光投影系统的原理样机， 并实现了 QVGA 级李萨茹扫描式激光投影，证明了本文关于李萨茹扫描式激光投影显 示技术的理论研究的正确性和可行性。 关键词：李萨茹扫描，谐振式扫描镜，激光投影显示，SOI 工艺 I  II Abstract Pico laser projector is a great development trend of projection display in future, which possesses the advantages of laser technology and MEMS technology, such as excellentcolor performance, high brightness, long life, small volume, light weight and low power consumption.According to the different methods of projection, pico laser projector is mainly divided i